輪廓儀產品概述:
NanoX-2000/3000
系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光
垂直掃描干涉測量(CSI)等技術的基礎上,以其納米級測量準確度和重復性(穩定性)定量地反映出被測件的表面粗
糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加
工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。
想要了解更多的信息,請聯系我們岱美儀器。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊。材料表面輪廓儀優惠價格
輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉換成電信號,該電信號經放大和處理,再轉換成數字信號儲存在計算機系統的存儲器中,計算機對原始表而輪廓進行數字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,或放大的實際輪廓曲線,測量結果通過顯示器輸出,也可由打印機輸出。(來自網絡)
輪廓儀在集成電路的應用:
封**ump測量
視場:72*96(um)物鏡:干涉50X 檢測位置:樣品局部
面減薄表面粗糙度分析
封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析 面粗糙度分析:2D, 3D顯示;線粗糙度分析:Ra, Ry,Rz,…
器件多層結構臺階高 MEMS 器件多層結構分析、工藝控制參數分析
激光隱形切割工藝控制 世界***的能夠實現激光槽寬度、深度自動識別和數據自動生成,**地縮
短了激光槽工藝在線檢測的時間,避免人工操作帶來的一致性,可靠性問題
進口輪廓儀代理商NanoX-8000 Z 軸聚焦:100mm行程自動聚焦,0.1um移動步進。
NanoX-系列產品PCB測量應用測試案例
測量種類
?
基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸
?
基板A Sold Mask粗糙度
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基板A 綠油區域3D 形貌
?
基板A 綠油區域 Pad 粗糙度
?
基板A 綠油區域粗糙度
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基板A 綠油區域 pad寬度
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基板A Trace 3D形貌和尺寸
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基板B 背面 Pad
NanoX-8000 系統主要性能
? 菜單式系統設置,一鍵式操作,自動數據存儲
? 一鍵式系統校準
? 支持連接MES系統,數據可導入SPC
? 具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產能 : 45s/點 (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 : ± 0.3mm
? XY運動速度 **快
輪廓儀在集成電路的應用
封**ump測量
視場:72*96(um)物鏡:干涉50X 檢測位置:樣品局部
面減薄表面粗糙度分析
封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析 面粗糙度分析:2D, 3D顯示;線粗糙度分析:Ra, Ry,Rz,…
器件多層結構臺階高 MEMS 器件多層結構分析、工藝控制參數分析
激光隱形切割工藝控制 世界***的能夠實現激光槽寬度、深度自動識別和數據自動生成,**地縮
短了激光槽工藝在線檢測的時間,避免人工操作帶來的一致性,可靠性問題
歡迎咨詢。 表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通常可分為接觸時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。
1.5. 系統培訓的注意事項
如何使用電子書閱讀軟件和軟、硬件的操作手冊;
數據采集功能的講解:通訊端口、連接計算器、等待時間等參數的解釋和參數設置;
實際演示一一講解;
如何做好備份和恢復備份資料;
當場演示各種報表的操作并進行操作解說;
數據庫文件應定時作備份,大變動時更應做好備份以防止系統重新安裝時造成資料數據庫的流失;
在系統培訓過程中如要輸入一些臨時數據應在培訓結束后及時刪除這些資料。
備注:系統培訓完成后應請顧客詳細閱讀軟件操作手冊,并留下公司“客戶服務中心”的電話與個人名片,以方便顧客電話聯系咨詢。 輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm(可擴展),Z向測量范圍比較大可達10mm。**輪廓儀價格
支持連接MES系統,數據可導入SPC。材料表面輪廓儀優惠價格
1.3. 培訓計劃
在完成系統布線并開始設備安裝后,即向甲方和業主介紹整個系統的概況及性能、特點、設備布置情況和相互之間的關系等,讓甲方和業主對整個系統有一個***的認識。
在整個系統驗收前后,安排有關人員在進行培訓。
1.4. 培訓形式
公司指派技術人員向相關人員講解系統的原理、功能、操作及維修保養要點;
向受訓學員提供和解釋有關設計文件及圖紙等資料,使學員對系統的各個方面都能熟練掌握;
針對系統的具體操作一一指導,使相關人員掌握技術要領;
對學員提出的問題進行詳細解答;
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岱美儀器技術服務(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿易試驗區加太路39號第五層六十五部位,是一家磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】的公司。岱美儀器技術服務擁有一支經驗豐富、技術創新的專業研發團隊,以高度的專注和執著為客戶提供磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發。岱美儀器技術服務致力于把技術上的創新展現成對用戶產品上的貼心,為用戶帶來良好體驗。岱美儀器技術服務始終關注自身,在風云變化的時代,對自身的建設毫不懈怠,高度的專注與執著使岱美儀器技術服務在行業的從容而自信。