新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測(cè)量更易負(fù)擔(dān)*后，表面粗糙度和表面形貌測(cè)量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來(lái)進(jìn)行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級(jí)垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今*高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測(cè)量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度，表面形貌和臺(tái)階高度的測(cè)量軟件。所有常見如ISO25178所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持，也包括軟件功能用于形貌分析，如形狀去除和波長(zhǎng)過(guò)濾，都包含在基film3D軟件。對(duì)于更進(jìn)階的功能，F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴TrueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理film3D數(shù)據(jù)，這當(dāng)然也與業(yè)界其他標(biāo)準(zhǔn)分析軟件兼容。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能？每film3D都已標(biāo)配自動(dòng)化X/Y平臺(tái)包含tip/tilt功能。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個(gè)10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片，可達(dá)％準(zhǔn)確度。另我們還提供具有100nm，2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片。*大視場(chǎng)Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要。更進(jìn)一步減少總體成本。NanoX-8000 的XY 平臺(tái)比較大移動(dòng)速度：200mm/s 。芯片輪廓儀用途是什么

三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析：

  表面三維輪廓儀可測(cè)量300余種2D、3D參數(shù)，無(wú)論加工的物件使用哪一種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)，都可以提供***的檢測(cè)結(jié)果作為評(píng)定依據(jù)，可輕松獲取被測(cè)物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。

四、穩(wěn)定性強(qiáng)，高重復(fù)性：

  儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì)，不受外部環(huán)境影響測(cè)量的準(zhǔn)確性。超精密的Z向掃描模塊和測(cè)量軟件完美結(jié)合，保證高重復(fù)性，將測(cè)量誤差降低到亞納米級(jí)別。

 三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測(cè)設(shè)備，它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性，又提高了成品的出產(chǎn)效率，滿足用戶對(duì)各項(xiàng)2D，3D參數(shù)檢測(cè)需求的同時(shí)，依然能夠保持高重復(fù)性，高穩(wěn)定性的運(yùn)行，其對(duì)精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的。 輪廓儀輪廓儀國(guó)內(nèi)代理200到400個(gè)共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。

輪廓儀的培訓(xùn)

一、 培訓(xùn)承諾

    系統(tǒng)建成后，我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓(xùn)和技術(shù)資詢；培訓(xùn)地點(diǎn)可以在我公司，亦或在工程現(xiàn)場(chǎng)；

    系統(tǒng)操作及管理人員的培訓(xùn)人數(shù)為10人，由業(yè)主指定，我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng)；

1.1. 培訓(xùn)對(duì)象

    系統(tǒng)操作及管理人員（培訓(xùn)對(duì)象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員）；

    其他業(yè)主指定的相關(guān)人員。

1.2. 培訓(xùn)內(nèi)容

    系統(tǒng)操作使用說(shuō)明書。

    培訓(xùn)課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設(shè)定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡(jiǎn)單升級(jí)等，具體內(nèi)容如下：

    * 系統(tǒng)文檔解讀；

    * 系統(tǒng)的技術(shù)特點(diǎn)、安裝維護(hù)和系統(tǒng)管理方式；

    * 系統(tǒng)一般故障排除。

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作，自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

? 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報(bào)警，急停等功能，報(bào)警信息可儲(chǔ)存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運(yùn)動(dòng)速度 **快

表面三維微觀形貌測(cè)量的意義

在生產(chǎn)中，表面三維微觀形貌對(duì)工程零件的許多技術(shù)性能的評(píng)家具有**直接的影響，而且表面三維評(píng)定參數(shù)由于能更***，更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來(lái)越受到重視，因此表面三維微觀形貌的測(cè)量就越顯重要。通過(guò)兌三維形貌的測(cè)量可以比較***的評(píng)定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計(jì)要求的合理性，這樣就可以反過(guò)來(lái)通過(guò)知道加工，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn)。

表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通常可分為接觸時(shí)和非接觸時(shí)兩種，其中以非接觸式測(cè)量方法為主。

表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺(tái)階高度，錐角等）。

白光干涉輪廓儀對(duì)比激光共聚焦輪廓儀

白光干涉3D顯微鏡：

干涉面成像，

多層垂直掃描

比較好高度測(cè)量精度：< 1nm

高度精度不受物鏡影響

性價(jià)比好

激光共聚焦3D顯微鏡：

點(diǎn)掃描合成面成像，

多層垂直掃描

Keyence（日本）

比較好高度測(cè)量精度：～10nm

高度精度由物鏡決定，1um精度@10倍

90萬(wàn)-130萬(wàn)

三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對(duì)樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高 分辨率的三維測(cè)量，測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌，臺(tái)階高度，給MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽(yáng)能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個(gè)精確的、價(jià)格合理的計(jì)量方案。（來(lái)自網(wǎng)絡(luò)） 在結(jié)構(gòu)上，輪廓儀基本上都是臺(tái)式的，而粗糙度儀以手持式的居多，當(dāng)然也有臺(tái)式的。臺(tái)式輪廓儀摩擦學(xué)應(yīng)用

輪廓儀可用于：微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷，表面粗糙度。芯片輪廓儀用途是什么

輪廓儀的性能 

測(cè)量模式

移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺(tái)

150mm/200mm/300mm 樣品臺(tái)（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°

可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái)

CCD 相機(jī)像素

標(biāo)配：1280×960

視場(chǎng)范圍

560×750um（10×物鏡）

具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī)

光學(xué)系統(tǒng)

同軸照明無(wú)限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)

光 源

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動(dòng)聚焦（可選電動(dòng)聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描，拓展達(dá) 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復(fù)性* 0.005nm，1σ

臺(tái)階測(cè)量** 準(zhǔn)確度 ≤0.75％；重復(fù)性 ≤0.1%，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測(cè)速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD  芯片輪廓儀用途是什么

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位。公司業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)等，價(jià)格合理，品質(zhì)有保證。公司注重以質(zhì)量為中心，以服務(wù)為理念，秉持誠(chéng)信為本的理念，打造儀器儀表良好品牌。岱美儀器技術(shù)服務(wù)立足于全國(guó)市場(chǎng)，依托強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力，融合前沿的技術(shù)理念，飛快響應(yīng)客戶的變化需求。