更可加裝至三個(gè)探頭，同時(shí)測(cè)量三個(gè)樣品，具紫外線區(qū)或標(biāo)準(zhǔn)波長可供選擇。F40:這型號(hào)安裝在任何顯微鏡外，可提供*小5um光點(diǎn)(100倍放大倍數(shù))來測(cè)量微小樣品。F50:這型號(hào)配備全自動(dòng)XY工作臺(tái)，由8"x8"到18"x18"或客戶提供所需尺寸均可。通過快速掃瞄功能，可取得整片樣品厚度分布情況(mapping)。F70:*通過在F20基本平臺(tái)上增加鏡頭，使用Filmetrics*新的顏色編碼厚度測(cè)量法（CTM），把設(shè)備的測(cè)量范圍極大的拓展至。F10-RT：在F20實(shí)現(xiàn)反射率跟穿透率的同時(shí)測(cè)量，特殊光源設(shè)計(jì)特別適用于透明基底樣品的測(cè)量。PARTS：在垂直入射光源基礎(chǔ)上增加70o光源，特別適用于超薄膜層厚度和n、k值測(cè)量。**膜厚測(cè)量儀系統(tǒng)F20使用F20**分光計(jì)系統(tǒng)可以簡便快速的測(cè)量厚度和光學(xué)參數(shù)（n和k）。您可以在幾秒鐘內(nèi)通過薄膜上下面的反射比的頻譜分析得到厚度、折射率和消光系數(shù)。任何具備基本電腦技術(shù)的人都能在幾分鐘內(nèi)將整個(gè)桌面系統(tǒng)組裝起來。F20包括所有測(cè)量需要的部件：分光計(jì)、光源、光纖導(dǎo)線、鏡頭**和Windows下運(yùn)行的軟件。您需要的只是接上您的電腦。膜層實(shí)例幾乎任何光滑、半透明、低吸收的膜都能測(cè)。包括：sio2（二氧化硅）sinx（氮化硅）dlc（類金剛石碳）photoresist。F20-EXR測(cè)厚范圍：15nm - 250μm；波長：380-1700nm。半導(dǎo)體薄膜膜厚儀可以試用嗎
FSM 413MOT 紅外干涉測(cè)量設(shè)備：
適用于所有可讓紅外線通過的材料：硅、藍(lán)寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物…………
應(yīng)用:
襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)
平整度
厚度變化 (TTV)
溝槽深度
過孔尺寸、深度、側(cè)壁角度
粗糙度
薄膜厚度
不同半導(dǎo)體材料的厚度
環(huán)氧樹脂厚度
襯底翹曲度
晶圓凸點(diǎn)高度(bump height)
MEMS 薄膜測(cè)量
TSV 深度、側(cè)壁角度...
如果您想了解更多關(guān)于FSM膜厚儀的技術(shù)問題，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。 半導(dǎo)體薄膜膜厚儀可以試用嗎測(cè)量方式: 紅外干涉(非接觸式)。
自動(dòng)厚度測(cè)量系統(tǒng)幾乎任何形狀的樣品厚度和折射率的自動(dòng)測(cè)繪。人工加載或機(jī)器人加載均可。
在線厚度測(cè)量系統(tǒng)監(jiān)測(cè)控制生產(chǎn)過程中移動(dòng)薄膜厚度。高達(dá)100 Hz的采樣率可以在多個(gè)測(cè)量位置得到。
附件Filmetrics 提供各種附件以滿足您的應(yīng)用需要。
F20 系列世界上****的臺(tái)式薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)只需按下一個(gè)按鈕，您在不到一秒鐘的同時(shí)測(cè)量厚度和折射率。設(shè)置同樣簡單, 只需插上設(shè)備到您運(yùn)行Windows?系統(tǒng)計(jì)算機(jī)的USB端口, 并連接樣品平臺(tái) , F20已在世界各地有成千上萬的應(yīng)用被使用. 事實(shí)上，我們每天從我們的客戶學(xué)習(xí)更多的應(yīng)用.
選擇您的F20主要取決於您需要測(cè)量的薄膜的厚度（確定所需的波長范圍）
FSM 8018 VITE測(cè)試系列設(shè)備
VITE技術(shù)介紹：
VITE是傅里葉頻域技術(shù)，利用近紅外光源的相位剪切技術(shù)（Phase shear technology）
設(shè)備介紹
適用于所有可讓近紅外線通過的材料：硅、藍(lán)寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物…………
應(yīng)用:
襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)
平整度
厚度變化 (TTV)
溝槽深度
過孔尺寸、深度、側(cè)壁角度
粗糙度
薄膜厚度
不同半導(dǎo)體材料的厚度
環(huán)氧樹脂厚度
襯底翹曲度
晶圓凸點(diǎn)高度(bump height)
MEMS 薄膜測(cè)量
TSV 深度、側(cè)壁角度...
監(jiān)測(cè)控制生產(chǎn)過程中移動(dòng)薄膜厚度。高達(dá)100 Hz的采樣率可以在多個(gè)測(cè)量位置得到。
F50 系列
包含的內(nèi)容：集成光譜儀/光源裝置光纖電纜4", 6" and 200mm 參考晶圓TS-SiO2-4-7200 厚度標(biāo)準(zhǔn)BK7 參考材料整平濾波器 (用于高反射基板)真空泵備用燈
型號(hào) 厚度范圍*波長范圍
F50：20nm-70μm 380-1050nm
F50-UV：5nm-40μm 190-1100nm
F50-NIR：100nm-250μm 950-1700nm
F50-EXR：20nm-250μm 380-1700nm
F50-UVX：5nm-250μm 190-1700nm
F50-XT：0.2μm-450μm 1440-1690nm
F50-s980：4μm-1mm 960-1000nm
F50-s1310：7μm-2mm 1280-1340nm
F50-s1550：10μm-3mm 1520-1580nm
額外的好處：每臺(tái)系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助（周一 - 周五）網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級(jí)計(jì)劃 F10-AR在用戶定義的任何波長范圍內(nèi)都能進(jìn)行比較低、比較高和平均反射測(cè)試。官方授權(quán)分銷膜厚儀科研應(yīng)用
產(chǎn)品名稱：紅外干涉厚度測(cè)量設(shè)備。半導(dǎo)體薄膜膜厚儀可以試用嗎
隨著儀器儀表和計(jì)算機(jī)的完美結(jié)合，為了更好的滿足人們對(duì)精神世界的需求，體驗(yàn)多維世界給人們帶來的**，儀器儀表的虛擬化開始發(fā)展。身臨其境接受客觀實(shí)物，給美又增添了一絲創(chuàng)意。在計(jì)算機(jī)和互聯(lián)網(wǎng)的急速發(fā)展到整個(gè)世界的背景下，儀器儀表也開始向網(wǎng)絡(luò)化突進(jìn)，結(jié)合新的科技設(shè)備，通過廣域網(wǎng)和局域網(wǎng)直接操控儀器儀表，對(duì)公司的管理，經(jīng)營一體化，應(yīng)用模式的分析等各大方面產(chǎn)生影響。有限責(zé)任公司企業(yè)通過網(wǎng)絡(luò)這個(gè)平臺(tái)與客戶直接的交流，突破了世界和空間的限制，行家遠(yuǎn)程操控對(duì)儀器儀表進(jìn)行維護(hù)和分析。高科技的產(chǎn)品也隨之而來。工業(yè)領(lǐng)域轉(zhuǎn)型升級(jí)、提升發(fā)展質(zhì)量等有利于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展；**安全、社會(huì)安全、產(chǎn)業(yè)和信息安全等需要自主、磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)裝備，成為全社會(huì)共識(shí)；為迎接其他型百年未有之大變局，行家認(rèn)為，要重新定義中國在世界經(jīng)濟(jì)版圖中的地位，要順應(yīng)形勢(shì)實(shí)現(xiàn)制造升級(jí)。以華立集團(tuán)在境外開發(fā)“中國工業(yè)園”的成功案例來闡述，跨國經(jīng)營要成為企業(yè)主動(dòng)的戰(zhàn)略選擇，在不確定性中更好地活下去，以全球化視野看問題，很多困惑在全球化過程中會(huì)迎刃而解。半導(dǎo)體薄膜膜厚儀可以試用嗎
岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主要經(jīng)營范圍是儀器儀表，擁有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)和良好的市場口碑。公司業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)等，價(jià)格合理，品質(zhì)有保證。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設(shè)計(jì)、強(qiáng)大的技術(shù)，還有一批**的專業(yè)化的隊(duì)伍，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)憑借創(chuàng)新的產(chǎn)品、專業(yè)的服務(wù)、眾多的成功案例積累起來的聲譽(yù)和口碑，讓企業(yè)發(fā)展再上新高。