面板廠為補償較低的開口率,多運用在背光模塊搭載較多LED的技術,但此作法的缺點是用電量較高。若運用NIL制程,可確保適當的開口率,降低用電量。利用一般曝光設備也可在玻璃基板上形成偏光膜。然8代曝光設備一次可形成的圖樣面積較小。若要制造55吋面板,需要經過數十次的曝光制程。不僅制程時間長,經過多次曝光后,在圖樣間會形成細微的縫隙,無法完整顯示影像。若將NIL技術應用在5代設備,可一次形成55吋、60吋面板的偏光膜圖樣。在8代基板可制造6片55吋面板,6次的壓印接觸可處理完1片8代基板。南韓業者表示,在玻璃基板上形成偏光圖樣以提升質量的生產制程,是LCD領域中***一個創新任務。若加速NIL制程導入LCD生產的時程,偏光膜企業的營收可能減少。(來自網絡。SmartNIL集成多次使用的軟標記處理功能,并具有顯著的擁有成本的優勢,同時保留可擴展性和易于維護的特點。安徽納米壓印廠家
IQ Aligner®:用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統
■用于光學元件的微成型應用
■用于全場納米壓印應用
■三個**控制的Z軸,用于控制壓印光刻膠的總厚度變化(TTV),并在壓模和基材之間實現出色的楔形補償
■粘合對準和紫外線粘合功能
紫外線壓印_紫外線固化
印章
防紫外線基材
附加印記壓印納米結構分離印記
用紫外線可固化的光刻膠旋涂或滴涂基材。隨后,將壓模壓入光刻膠并在仍然接觸的情況下通過UV光交聯。
μ-接觸印刷
軟印章
基板上的材料
領取物料,物料轉移,刪除印章
大面積納米壓印芯片堆疊應用SmartNIL 非常適合對具有復雜納米結構微流控芯片進行高精度圖案化,用在下一代藥 物研究和醫學診斷設備生產。
EVG ® 520 HE熱壓印系統
特色:經通用生產驗證的熱壓印系統,可滿足比較高要求
EVG520 HE半自動熱壓印系統設計用于對熱塑性基材進行高精度壓印。EVG的這種經過生產驗證的系統可以接受直徑比較大為200 mm的基板,并且與標準的半導體制造技術兼容。熱壓印系統配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能,并管理適用于熱壓印的整個聚合物范圍。結合高縱橫比壓印和多種脫壓選項,提供了許多用于高質量圖案轉印和納米分辨率的工藝。
如果需要詳細的信息,請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。
納米壓印應用二:面板尺寸的大面積納米壓印
EVG專有的且經過大量證明的SmartNIL技術的***進展,已使納米圖案能夠在面板尺寸比較大為Gen 3(550 mm x 650 mm)的基板上實現。對于不能減小尺寸的顯示器,線柵偏振器,生物技術和光子元件等應用,至關重要的是通過增加圖案面積來提高基板利用率。 NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經濟、高 效的方法,因為它不受光學系統的限制,并且可以為**小的結構提供比較好的圖案保真度。岱美作為EVG在中國區的代理商,歡迎各位聯系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。
EVG ? 610也可以設計成紫外線納米壓印光刻系統。
EVG ® 7200 LA特征:
專有SmartNIL ®技術,提供了****的印跡形大面積
經過驗證的技術,具有出色的復制保真度和均勻性
多次使用的聚合物工作印模技術可延長母版使用壽命并節省大量成本
強大且精確可控的處理
與所有市售的壓印材料兼容
EVG ® 7200 LA技術數據:
晶圓直徑(基板尺寸):直徑200毫米(比較大Gen3)(550 x 650毫米)
解析度:40 nm-10 μm(分辨率取決于模板和工藝)
支持流程:SmartNIL ®
曝光源:大功率窄帶(> 400 mW /cm2)
對準:可選的光學對準:≤±15 μm
自動分離:支持的
迷你環境和氣候控制:可選的
工作印章制作:支持的
EVG系統是客戶進行大批量晶圓級鏡頭復制(制造)的***選擇。江蘇納米壓印值得買
EVG開拓了這種非常規光刻技術,擁有多年技術,掌握了NIL,并已在不斷增長的基板尺寸上實現了批量生產。安徽納米壓印廠家
EVG ® 510 HE特征:
用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應用
自動化壓花工藝
EVG專有的**對準工藝,用于光學對準的壓印和壓印
完全由軟件控制的流程執行
閉環冷卻水供應選項
外部浮雕和冷卻站
EVG ® 510 HE技術數據:
加熱器尺寸:150毫米 ,200毫米
比較大基板尺寸:150毫米,200毫米
**小基板尺寸:單芯片,100毫米
比較大接觸力:10、20、60 kN
比較高溫度:標準:350°C;可選:550°C
夾盤系統/對準系統
150毫米加熱器:EVG ® 610,EVG ® 620,EVG ® 6200
200毫米加熱器:EVG ® 6200,MBA300,的Smart View ® NT
真空:
標準:0.1毫巴
可選:0.00001 mbar
安徽納米壓印廠家
岱美儀器技術服務(上海)有限公司屬于儀器儀表的高新企業,技術力量雄厚。公司致力于為客戶提供安全、質量有保證的良好產品及服務,是一家有限責任公司企業。以滿足顧客要求為己任;以顧客永遠滿意為標準;以保持行業優先為目標,提供***的磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發。岱美儀器技術服務將以真誠的服務、創新的理念、***的產品,為彼此贏得全新的未來!