EVG120光刻膠自動處理系統附加模塊選項
預對準:光學/機械
ID讀取器:條形碼,字母數字,數據矩陣
系統控制:
操作系統:Windows
文件共享和備份解決方案/無限制 程序和參數/離線程序編輯器
靈活的流程定義/易于拖放的程序編程
并行處理多個作業/實時遠程訪問,診斷和故障排除
多語言用戶GUI和支持:CN,DE,FR,IT,JP,KR
分配選項:
各種光刻膠分配泵,可覆蓋高達52000 cP的粘度
液體底漆/預濕/洗盤
去除邊緣珠(EBR)/背面沖洗(BSR)
恒壓分配系統/注射器分配系統
電阻分配泵具有流量監控功能
可編程分配速率/可編程體積/可編程回吸
超音波
所有系統均支持原位對準驗證的軟件,可以提高手動操作系統的對準精度和可重復性。福建光刻機當地價格
光刻機軟件支持
基于Windows的圖形用戶界面的設計,注重用戶友好性,并可輕松引導操作員完成每個流程步驟。多語言支持,單個用戶帳戶設置和集成錯誤記錄/報告和恢復,可以簡化用戶的日常操作。所有EVG系統都可以遠程通信。因此,我們的服務包括通過安全連接,電話或電子郵件,對包括經過現場驗證的,實時遠程診斷和排除故障。EVG經驗豐富的工藝工程師隨時準備為您提供支持,這得益于我們分散的全球支持機構,包括三大洲的潔凈室空間:歐洲 (HQ), 亞洲 (日本) 和
北美 (美國). 寧夏光刻機用途是什么HERCULES的橋接工具系統可對多種尺寸的晶圓進行易碎,薄或翹曲的晶圓處理。
EVG ® 610特征:
晶圓/基板尺寸從小到200 mm /8''
頂側和底側對準能力
高精度對準臺
自動楔形補償序列
電動和程序控制的曝光間隙
支持**/新的UV-LED技術
**小化系統占地面積和設施要求
分步流程指導
遠程技術支持
多用戶概念(無限數量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)
便捷處理和轉換重組
臺式或帶防震花崗巖臺的單機版
EVG ® 610附加功能:
鍵對準
紅外對準
納米壓印光刻(NIL)
EVG ® 610技術數據:
對準方式
上側對準:≤±0.5 μm
底面要求:≤±2,0 μm
紅外校準:≤±2,0 μm /具體取決于基板材料
鍵對準:≤±2,0 μm
NIL對準:≤±2,0 μm
IQ Aligner工業自動化功能:盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄,彎曲,翹曲,邊緣晶圓處理
晶圓直徑(基板尺寸):高達200毫米
對準方式:
上側對準:≤±0.5 μm
底側對準:≤±1,0 μm
紅外校準:≤±2,0 μm /具體取決于基板材料
曝光設定:真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式
曝光選項:間隔曝光/洪水曝光
系統控制
操作系統:Windows
文件共享和備份解決方案/無限制 程序和參數
多語言用戶GUI和支持:CN,DE,FR,IT,JP,KR
實時遠程訪問,診斷和故障排除
產能
全自動:第/一批生產量:每小時85片
全自動:吞吐量對準:每小時80片 EVG已經與研究機構合作超過35年,能夠深入了解他們的獨特需求。
EVG120特征2:
先進且經過現場驗證的機器人具有雙末端執行器功能,可確保連續的高產量;
工藝技術卓/越和開發服務:
多用戶概念(無限數量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)
智能過程控制和數據分析功能[Framework SW Platform]
用于過程和機器控制的集成分析功能
設備和過程性能跟/蹤功能;
并行/排隊任務處理功能;
智能處理功能;
發生和警報分析;
智能維護管理和跟/蹤;
技術數據:
可用模塊;
旋涂/ OmniSpray ® /開發;
烤/冷;
晶圓處理選項:
單/雙EE /邊緣處理/晶圓翻轉;
彎曲/翹曲/薄晶圓處理。
可以使用用于壓印光刻的工具,例如紫外光納米壓印光刻,熱壓印或微接觸印刷。甘肅**光刻機
EVG所有光刻設備平臺均為300mm。福建光刻機當地價格
國統局數據顯示,2019年上半年儀器儀表大行業規模以上企業4927個,營收規模4002億元,營收同比增長7.57%;收入總額為361億元,同比增長2.87%,比主營收入低4.70個百分點;目前,磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發等產品的產量居世界前列,實驗分析儀器等中產品的市場占比不斷上升,行業技術上總體已達到的中等國際水平,少數產品接近或達到當前較高國際水平。目前我國磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】產品,主要集中在中低檔市場,而市場則主要被國外品牌所占據。在某些領域,國產產品甚至是空白,這就需要未來我國儀器儀表向市場進軍,擴大產品占比。儀器儀表在工業發展中具有重要作用,這也使得儀器儀表得到快讀發展。各行各業對儀器儀表的市場需求也在不斷提升,銷售企業正在發展中尋求技術創新和質量提升。儀器儀表的質量、性能關系到工業安全,必須重視。福建光刻機當地價格
岱美儀器技術服務(上海)有限公司屬于儀器儀表的高新企業,技術力量雄厚。公司致力于為客戶提供安全、質量有保證的良好產品及服務,是一家有限責任公司企業。以滿足顧客要求為己任;以顧客永遠滿意為標準;以保持行業優先為目標,提供***的磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發。岱美儀器技術服務將以真誠的服務、創新的理念、***的產品,為彼此贏得全新的未來!