技術指標：頻率負載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米

隔離：動態（超過1kHz）

透射率：參見附件曲線10Hz以上的透射率<（-40dB）

矯正力：垂直+/-8N水平+/-4N

靜態合規性：大約垂直約12μm/N水平30-40μm/N

比較大負載：140公斤尺寸：500x600x84毫米

重量：28.5kg

電的安全等級：1個能量消耗：比較大10W負載調整時20W輸入電壓：115-230VAC+/-10％50-60Hz

超載：顯示屏指示負載過重或嚴重失衡

監控信號：示波器上顯示的多路復用信號顯示有無隔離的振動水平-*用于診斷目的

前面板顯示菜單：顯示儀器狀態，包括：-高度調節-隔離開/關-過載-運輸鎖定-技術熱線

桌上尺寸：500x600毫米。 AVI 400-M緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。光刻機隔振臺研發生產

TS-140

TS-140結合了久經考驗的技術特點與優雅且對用戶友好的設計

這種中型動態隔振系統非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應用。

在公制（M6 x 25mm）或非公制網格上鉆孔的頂板可將各種設備安裝在隔離的桌面上。

TS-140結合了久經考驗的技術特點與優雅且用戶友好的設計

TS-140的隔離始于0.7 Hz，超過10Hz時迅速增加至40db

缺少低頻諧振意味著比大多數常見的被動空氣阻尼方法要好得多

TS系統的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩定性

TS 140的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式

精確的自動高度調節機制即使在負載發生重大變化后也能將頂板穩定在比較好工作水平

遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”

用戶友好，實用的操作優勢是創新建筑理念的結果

TS-140的高度*為84毫米

TS 140的重量*為28.5千克 TS-140/LP隔振臺電子顯微鏡AEM簡單，用戶友好的處理概念-避免在安裝過程中進行復雜的過程。

AVI單元和傳感器的方向

隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝，這一點很重要取向！LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應于AVI的開關輸出以任意4個矩形方向（即平行或成直角）放置的元素。不允許其他方向。

為確保連接正確，請按照下列步驟操作：

面向LFS傳感器的藍色LED站立。 將***個AVI元素連接到以下任意一個后面板上的12個D-Sub15插座。用筆滑動開關在位置A和D之間。

所有AVI元素必須連接到LFS單元上的插槽。正確的開關位置對于獲得良好的性能至關重要隔離。

傳感器LFS-3有一個單獨的電源，通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要，但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub 15插座（診斷插座）連接到傳感器

設置并將電源連接到傳感器后，系統即可使用。

按下電源上的電源旋鈕，打開電源。綠色的LED將亮起。紅色的發光二極管開始閃爍，這意味著存在一些振動。現在您可以通過按下啟用按鈕來啟用系統。紅色的發光二極管不應該再亮了。如果它們亮了，那意味著系統超載，建筑物內的振動太嚴重。 Table Stable通過在發展主動隔振系統的同時補充了被動系統。

AVI-600系列（負載：1200kg）

型號：AVI-600SLP，AVI-600MLP，AVI-600XLP

形狀：控制器與防振單元分離型

主動控制范圍：被動隔振范圍200Hz以上

確認防振狀態：使用控制器背面的BNC連接器，外部連接，前面的8個LED指示防振狀態

單位尺寸：288×396×288×720×318×856×

控制器尺寸；448x286x143毫米

承重：1200kg（相等）

單位重量：約20kg，約26kg，聯絡我們

電源電壓：95-240VAC，50-60赫茲

耗電量：正常27W
工作溫度范圍：5℃?40℃

工作濕度范圍：10?90％（5?30℃）?10?60％（30?40℃）

可選零件（1）裝載板，石板，鑄鐵板*另行咨詢。

選裝（2）高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨咨詢

垂直方向上的振動傳遞衰減，在承重時10hz的頻率以上時，比較大可以達到40dB的衰減。光刻機隔振臺研發生產

TS特點：

◎在全部的6個自由度范圍內，從0.7Hz到100Hz，TS系列產品提供優良的主動隔振性能。

◎當儀器裝載時，高度調整會自動進行。

◎即使當負載偏離中心時，自動調平功能也能保持水準。當高重心的儀器被加載時，給予穩定性。

◎通過按下前方的按鈕，系統可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統重新加載或傳輸中發生損壞。

◎前方的顯示屏展示了在X,Y和Z方向的實際振動水平。

◎主動隔振也可以通過使用可選的遠程控制箱來從外部啟用或禁用 光刻機隔振臺研發生產

岱美儀器技術服務（上海）有限公司辦公設施齊全，辦公環境優越，為員工打造良好的辦公環境。致力于創造***的產品與服務，以誠信、敬業、進取為宗旨，以建岱美儀器技術服務產品為目標，努力打造成為同行業中具有影響力的企業。公司不僅*提供專業的磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】，同時還建立了完善的售后服務體系，為客戶提供良好的產品和服務。誠實、守信是對企業的經營要求，也是我們做人的基本準則。公司致力于打造***的磁記錄，半導體，光通訊生產，測試儀器的批發。