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上海研究所輪廓儀

來源: 發布時間:2020-03-23

輪廓儀、粗糙度儀、三坐標的區別

關于輪廓儀和粗糙度儀

  輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圓柱表面素線的直線度等參數。總之,輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質量,通俗地講,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國標叫光潔度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。


關于三坐標測量輪廓度及粗糙度

  三坐標測量機是不能測量粗糙度的,至于測量零件的表面輪廓 ,要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,如果你的三坐標測量機精度比較高,但零件輪廓度要求不可,是可以用三坐標來代替的。一般三坐標精度都在2-3um左右,而輪廓儀都在2um以內,還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓,因為它有龍門式三坐標和關節臂三坐標,而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的,加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。 輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,核探測。上海研究所輪廓儀

    輪廓儀是用容易理解的機械技術測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優點是可以測量所有固體膜,包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統能測繪整個表面輪廓。(有關我們的低成本光學輪廓儀的資訊,請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度,而小坎通常無法很標準(見圖)。這樣,標定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比,光譜反射儀使用非接觸技術,不需要任何樣本準備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優點列表于下。如需更多光譜反射儀信息請訪問我們官網。湖北輪廓儀質保期多久幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區域的面積和集體,特征圖形的位置和數量等)。

    比較橢圓偏振儀和光譜反射儀光譜橢圓偏振儀(SE)和光譜反射儀(SR)都是利用分析反射光確定電介質,半導體,和金屬薄膜的厚度和折射率。兩者的主要區別在于橢偏儀測量小角度從薄膜反射的光,而光譜反射儀測量從薄膜垂直反射的光。獲取反射光譜指南入射光角度的不同造成兩種技術在成本,復雜度,和測量能力上的不同。由于橢偏儀的光從一個角度入射,所以一定要分析反射光的偏振和強度,使得橢偏儀對超薄和復雜的薄膜堆有較強的測量能力。然而,偏振分析意味著需要昂貴的精密移動光學儀器。光譜反射儀測量的是垂直光,它忽略偏振效應(絕大多數薄膜都是旋轉對稱)。因為不涉及任何移動設備,光譜反射儀成為簡單低成本的儀器。光譜反射儀可以很容易整合加入更強大透光率分析。從下面表格可以看出,光譜反射儀通常是薄膜厚度超過10um的優先,而橢偏儀側重薄于10nm的膜厚。在10nm到10um厚度之間,兩種技術都可用。而且具有快速,簡便,成本低特點的光譜反射儀通常是更好的選擇。光譜反射率光譜橢圓偏振儀厚度測量范圍1nm-1mm(非金屬)-50nm(金屬)*-(非金屬)-50nm(金屬)測量折射率的厚度要求>20nm(非金屬)5nm-50nm(金屬)>5nm(非金屬)>。

NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術參數

3D測量主要技術指標(1):

測量模式: PSI + VSI + CSI

Z軸測量范圍: 大行程PZT 掃描 (300um 標配/500um選配)

10mm 精密電機拓展掃描

CCD相機: 1920x1200 高速相機(標配)

干涉物鏡: 2.5X, 5X, 10X(標配), 20X, 50X, 100X(NIKON )

物鏡切換: 5孔電動鼻切換 FOV: 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)

Z軸聚焦: 高精密直線平臺自動聚焦

照明系統: 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換(綠色/藍色)

傾斜調節: ±5°電動調節

橫向分辨率: ≥0.35μm(與所配物鏡有關)

3D測量主要技術指標(2):

垂直掃描速度: PSI : <10s,VSI/CSI:< 38um/s

高度測量范圍: 0.1nm – 10mm

表面反射率: > 0.5%

測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm

準確度 < 1nm

RMS重復性 < 0.01nm (1σ)

臺階高重復性:0.15nm(1σ)

VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm

準確度<1%

重復性<0.1% (1σ,10um臺階高) NanoX-8000隔振系統:集成氣浮隔振 + 大理石基石。

輪廓儀產品概述:  

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光

垂直掃描干涉測量(CSI)等技術的基礎上,以其納米級測量準確度和重復性(穩定性)定量地反映出被測件的表面粗

糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加

工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。


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白光干涉系統基于無限遠顯微鏡系統,通過干涉物鏡產生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統變為白光干涉儀.上海研究所輪廓儀

NanoX-系列輪廓儀**性客戶

? 集成電路相關產業

– 集成電路先進封裝和材料:華天科技,通富微電子,江蘇納佩斯

半導體,華潤安盛等

? MEMS相關產業

– 中科院蘇州納米所,中科電子46所,華東光電集成器件等

? 高 效太陽能電池相關產業

– 常州億晶光電,中國臺灣速位科技、山東衡力新能源等

? 微電子、FPD、PCB等產業

– 三星電機、京東方、深圳夏瑞科技等  



具備 Global alignment & Unit alignment

自動聚焦范圍 : ± 0.3mm

XY運動速度 **快


如果有什么問題,請聯系我們。


上海研究所輪廓儀

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