LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應于AVI元件的開關輸出，這些AVI元件以任意4個矩形方向（即平行或直角）放置，不允許其他方向。
面向LFS傳感器的藍色LED直立。將***個AVI元件連接到后面板上的12個D-Sub15插座中的任何一個。使用筆在位置A和D之間滑動開關。
傳感器的位置:
傳感器可以移動到任何所需位置。它可能位于負載下方或外部，但必須位于支持AVI元件的同一表面上。連接后，傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。
支承面剛度:
支承面的剛度很重要。水平傳感器無法區分水平加速度和傾斜。因此，LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅硬，以便在附近移動時不會明顯傾斜。傾斜將導致傳感器輸出飽和，隔離將失效。 AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀等提供極好的隔振效果。晶圓隔振臺供應商
TS-150支撐面測試:
盡管這些系統幾乎可以在任何支撐面上運行，但采用軟支撐結構共振放大某些建筑物的振動頻率，因此這些振動頻率會降低隔離的。
您可以通過觀察診斷信號來了解支持結構的適用性同時推動支持。 此測試應禁用隔離。 如果支撐是剛性的信號幾乎不應響應任何方向對支撐的推動。 現在嘗試點擊支持激發其內部共鳴。 通常，支架會對水平**產生更強烈的反應而不是垂直的。 一個非常共振的支撐將顯示長壽命的共振，并且隔離將
在這些頻率上受到嚴重影響。 更好的支撐將顯示出良好的阻尼共振。
中科院隔振臺推薦型號在過去的40年，HERZ發展成為被動式隔振設備的領頭供應商 ，并在此領域積累了豐富的經驗。
AVI主動隔震臺
AVI應用于掃描電鏡
1、如有可能，拆下掃描電鏡柱的側板。
2、使用掃描電鏡找平腳將立柱抬離地面至少6“。如有必要，在水平尺下放置木塊以增加高度。
3、拆下主銷后傾角和主銷后傾角螺栓（如有必要）。
4、將***個鋁制安裝板放在掃描電鏡下的地面上。前后各27.5英寸，左右各27英寸。用水平儀確保盤子坐平。按下所有角落，確保其與地面齊平。如果不水平或不齊平，則使用墊片確保水平，并在各側均勻地放置在地面上。
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技術指標：頻率負載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米
隔離：動態（超過1kHz）
透射率：參見附件曲線10Hz以上的透射率<（-40dB）
矯正力：垂直+/-8N水平+/-4N
靜態合規性：大約垂直約12μm/N水平30-40μm/N
比較大負載：140公斤尺寸：500x600x84毫米
重量：28.5kg
電的安全等級：1個能量消耗：比較大10W負載調整時20W輸入電壓：115-230VAC+/-10％50-60Hz
超載：顯示屏指示負載過重或嚴重失衡
監控信號：示波器上顯示的多路復用信號顯示有無隔離的振動水平-*用于診斷目的
前面板顯示菜單：顯示儀器狀態，包括：-高度調節-隔離開/關-過載-運輸鎖定-技術熱線
桌上尺寸：500x600毫米。 實際測量的振動結果：AVI 主動隔振頻率范圍在 1.0Hz 到 200Hz之間。
LFS
LFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上，并與標準AVI / LP系統結合使用在前饋環路中，以提高非常低頻率的振動隔離。LFS可以改裝為現有的AVI-LP系統。
LFS-3的設計、制造和測試均符合測量和控制設備的安全規定，并滿足EEC指令73/23的相關要求。系統符合EEC指令89/336（電磁兼容性）
每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要，但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub 15插座（診斷插座）連接到傳感器。 AVI 200-XL系統固有的剛性使得其有出色的方向性和位置穩定性。AVI隔振臺有哪些品牌
必須改善測量環境，以發揮儀器的極大效能，達到比較好成果。晶圓隔振臺供應商
TS-C
TS-C系列是緊湊的動態防振系統，可隔離所有六個平移和旋轉振動模式。
這些價格適中的動態振動隔離系統在體積上卻比比較大，**昂貴的無源系統更好地實現了隔離。使用壓電力馬達的慣性反饋不僅可以隔離建筑物的振動，還可以隔離放置在系統本身上的振動源。例如，這意味著即使通過操作員的手施加了力，由系統隔離的精密顯微鏡也將保持靜止。
該系統的固有剛度比1Hz諧振無源隔離器的固有剛度大25倍，可提供出色的方向和位置穩定性。
有源隔離系統的特性通常表現為幾乎沒有低頻共振，這種共振困擾著所有無源隔離系統。
該系統的設計即使在低至2-3
Hz的頻率下也能提供出色的隔離度，在該頻率下，許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅。隔離從大約0.7Hz開始，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。 晶圓隔振臺供應商
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