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TS-300/LP隔振臺(tái)大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)應(yīng)用

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2021-10-22

TS-150支撐面測(cè)試:

盡管這些系統(tǒng)幾乎可以在任何支撐面上運(yùn)行,但采用軟支撐結(jié)構(gòu)共振放大某些建筑物的振動(dòng)頻率,因此這些振動(dòng)頻率會(huì)降低隔離的。

您可以通過觀察診斷信號(hào)來(lái)了解支持結(jié)構(gòu)的適用性同時(shí)推動(dòng)支持。 此測(cè)試應(yīng)禁用隔離。 如果支撐是剛性的信號(hào)幾乎不應(yīng)響應(yīng)任何方向?qū)χ蔚耐苿?dòng)。 現(xiàn)在嘗試點(diǎn)擊支持激發(fā)其內(nèi)部共鳴。 通常,支架會(huì)對(duì)水平**產(chǎn)生更強(qiáng)烈的反應(yīng)而不是垂直的。 一個(gè)非常共振的支撐將顯示長(zhǎng)壽命的共振,并且隔離將

在這些頻率上受到嚴(yán)重影響。 更好的支撐將顯示出良好的阻尼共振。


AVI 的隔振性能在負(fù)載低于 30Hz 以下時(shí)是一個(gè)重要的參照。TS-300/LP隔振臺(tái)大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)應(yīng)用

主動(dòng)式隔震臺(tái)工作機(jī)理

主動(dòng)防振臺(tái)通過電氣控制,向傳入振動(dòng)瞬間施加反方向的力,從而消除振動(dòng)。測(cè)振傳感器不斷監(jiān)測(cè)振動(dòng),制動(dòng)器根據(jù)這些信號(hào)產(chǎn)生反向力,以保持比較好的隔振狀態(tài)。主動(dòng)式防震臺(tái)專門研究10Hz以下低頻范圍的防震。

(1)實(shí)際測(cè)量的振動(dòng)結(jié)果:AVI 主動(dòng)隔振頻率范圍在 1.0Hz

到 200Hz之間。完美的隔振系統(tǒng)可控制很大范圍的頻率。

(2)不同負(fù)載下的振動(dòng)傳遞率:

AVI 的隔振性能在負(fù)載低于 30Hz 以下時(shí)是一個(gè)重要的參照。高頻率范圍內(nèi),隨著隔振負(fù)載增加,隔震效果稍有提升。 隔震器隔振臺(tái)應(yīng)用LFS-3傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度,頻率約為0.2Hz。

TS主動(dòng)隔振臺(tái)在3D空間的6個(gè)自由度中主動(dòng)式隔振  從0.7 Hz 到100 Hz

在21世紀(jì)納米技術(shù)(即先進(jìn)的半導(dǎo)體**相關(guān)的信息技術(shù),基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù),原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn)), 振動(dòng)、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測(cè)量環(huán)境的抑 制因素。

在納米技術(shù)中,為了獲得可靠的結(jié)果,使用充氣被動(dòng)隔振臺(tái)無(wú)法隔離低頻振動(dòng),此時(shí)需要主動(dòng)隔離。先進(jìn)的主動(dòng)式隔振系統(tǒng)“TS 系列” 將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測(cè)量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。

裝載設(shè)備:

掃描電子顯微鏡,如 AFM3D表面分析儀,激光顯微鏡,激光干涉儀,液體表面張力測(cè)量系統(tǒng),顯微硬度測(cè)量?jī)x,

醫(yī)療檢測(cè)設(shè)備等

LFS-3傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度,頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上,與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋回路中,以提高極低頻時(shí)的隔振性能。LFS-3可以被復(fù)裝到現(xiàn)有的AVI/LP系統(tǒng)中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統(tǒng)上測(cè)量的垂直和水平隔離(可傳輸性),其具有和不具有LFS。用AVI-200 S/LP進(jìn)行測(cè)量,增益設(shè)置為128(V)和150(H)。


輸入電壓:115/230V

AC,50-60Hz        功耗:比較大20瓦

頻率范圍:0.2-20Hz       尺寸傳感器:255x245x107mm(長(zhǎng)x寬x高)

電源尺寸:265x155x73mm(長(zhǎng)x寬x高) 重量傳感器:5.9kg

供電重量:1.6kg                        應(yīng)用:室內(nèi)

防護(hù)等級(jí):IP 20                        溫度范圍 :5°C-40°C

相對(duì)濕度:10–90%(5–30°C)


該表在支持靈敏實(shí)驗(yàn)(例如膜片鉗,顯微注射或用于測(cè)量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽)方面非常成功。

AVI600-M

AVI 600-M的基本配置包括兩個(gè)緊湊型單元和一個(gè)控制單元,比較大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用,可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。


AVI 600-M的隔離始于1,2 Hz,超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 600-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 600-M的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式


AVI 600-M緊湊型設(shè)備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡(jiǎn)單,友好的處理概念-從而避免在設(shè)備上放置沉重的設(shè)備(例如SEM)時(shí)進(jìn)行任何復(fù)雜的操作。


技術(shù)指標(biāo):

頻率:  1.2-200 Hz

負(fù)載范圍:  0-1200公斤

(單件):  600公斤 Table Stable Ltd:主動(dòng)隔振以及高 分辨率,高對(duì)比度光譜學(xué)的全球***。隔震器隔振臺(tái)應(yīng)用

簡(jiǎn)單,用戶友好的處理概念-避免在安裝過程中進(jìn)行復(fù)雜的過程。TS-300/LP隔振臺(tái)大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)應(yīng)用

AVI-400系列(負(fù)載:**多800kg)

型號(hào):AVI-400SLP,AVI-400MLP,AVI-400XLP

系統(tǒng)形狀:控制器與防振單元分離型

主動(dòng)控制范圍:被動(dòng)隔振范圍200Hz以上

確認(rèn)防振狀態(tài):使用控制器背面的BNC連接器,外部連接,前面的8個(gè)LED指示防振狀態(tài)

尺寸:190×396×190×720×220×856×

控制器尺寸:241×287×142毫米

承重*800kg

單位重量:約13kg;約19公斤,聯(lián)絡(luò)我們

電源電壓:95-240VAC,50-60赫茲

耗電量:通常為18W

工作溫度范圍:5℃?40℃工作濕度范圍10?90%(5?30℃)?10?60%(30?40℃)

可選零件(1)裝載板,石板,鑄鐵板*另行咨詢選裝(2)高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨(dú)咨詢。 TS-300/LP隔振臺(tái)大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司致力于儀器儀表,是一家其他型公司。公司業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測(cè)試儀器的批發(fā)等,價(jià)格合理,品質(zhì)有保證。公司將不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力,努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識(shí),遵守行業(yè)規(guī)范,植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展。在社會(huì)各界的鼎力支持下,持續(xù)創(chuàng)新,不斷鑄造***服務(wù)體驗(yàn),為客戶成功提供堅(jiān)實(shí)有力的支持。

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