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碳化硅輪廓儀有誰在用

來源: 發布時間:2020-02-29

1)白光輪廓儀的典型應用:

對各種產品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。  

2)共聚焦顯微鏡方法 

共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多***盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多***盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節,但是在共焦圖像中,通過多***盤的操作濾除模糊細節(未聚焦),只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高 分辨率。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊,共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現。200到400個共焦圖像通常在幾秒內被捕獲,之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。





共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現。碳化硅輪廓儀有誰在用

輪廓儀的功能:

廓測量儀能夠對各種工件輪廓進行長度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等幾何參數測量。測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計量室使用。


白光輪廓儀的典型應用:

對各種產品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


如果您想要了解更多的信息,請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。 微納米結構和加工儀器輪廓儀質量怎么樣物鏡是輪廓儀****的部件, 物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求。

    比較大視場Thefilm3D以10倍物鏡優異地提供更寛廣的2毫米視野,其數位變焦功能有助于緩解不同應用時切換多個物鏡的需要,更進一步減少總體成本。手動式物鏡轉盤能一次搭載四組物鏡,能滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測量應用。索取技術資料索取報價性能規格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範圍-100 %電腦要求機械規格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺類型手動或自動XY平臺范圍100mmx100mm相機2592x1944(5百萬像素)系統尺寸,寬x深x高300mmx300mmx550mm系統重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan)放大倍率5X10X20X50X100X視場xmmxmmxmmxmmxmm采樣空間2μmμmμmμmμm1分別出售2樣本上之像素大小常見的選購配件:urionNano30主動式防震臺4微米,2微米,和100納米多臺階高度標準。

NanoX-系列輪廓儀**性客戶

? 集成電路相關產業

– 集成電路先進封裝和材料:華天科技,通富微電子,江蘇納佩斯

半導體,華潤安盛等

? MEMS相關產業

– 中科院蘇州納米所,中科電子46所,華東光電集成器件等

? 高 效太陽能電池相關產業

– 常州億晶光電,中國臺灣速位科技、山東衡力新能源等

? 微電子、FPD、PCB等產業

– 三星電機、京東方、深圳夏瑞科技等  



具備 Global alignment & Unit alignment

自動聚焦范圍 : ± 0.3mm

XY運動速度 **快


如果有什么問題,請聯系我們。


表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)。

輪廓儀的培訓

一、 培訓承諾

    系統建成后,我公司將為業主提供為期1天的**培訓和技術資詢;培訓地點可以在我公司,亦或在工程現場;

    系統操作及管理人員的培訓人數為10人,由業主指定,我公司將確保相關人員正確使用該系統;


1.1. 培訓對象

    系統操作及管理人員(培訓對象須具有專業技術的技術人員或實際值班操作人員);

    其他業主指定的相關人員。


1.2. 培訓內容

    系統操作使用說明書。

    培訓課程的主要內容是系統的操作、系統的相關參數設定和修改和系統的維修與保養與簡單升級等,具體內容如下:

    * 系統文檔解讀;

    * 系統的技術特點、安裝維護和系統管理方式;

    * 系統一般故障排除。





共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多***盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。二維輪廓儀推薦廠家

NanoX-8000隔振系統:集成氣浮隔振 + 大理石基石。碳化硅輪廓儀有誰在用

輪廓儀的主要客戶群體

300mm集成電路技術封裝生產線檢測

集成電路工藝技術研發和產業化


國家重點實驗室

高 效太陽能電池技術研發、產業化


MEMS技術研發和產業化

新型顯示技術研發、產業化


超高精密表面工程技術


輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉換成電信號,該電信號經放大和處理,再轉換成數字信號儲存在計算機系統的存儲器中,計算機對原始表而輪廓進行數字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,或放大的實際輪廓曲線,測量結果通過顯示器輸出,也可由打印機輸出。(來自網絡) 碳化硅輪廓儀有誰在用

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