EVG®610 掩模對準系統
■ 晶圓規格
:100 mm / 150 mm / 200 mm
■ 頂/底部對準精度達到 ± 0.5 μm / ± 1.0 μm
■ 用于雙面對準高/分辨率頂部和底部分裂場顯微鏡
■ 軟件,硬件,真空和接近式曝光
■ 自動楔形補償
■ 鍵合對準和NIL可選
■ 支持**/新的UV-LED技術
EVG®620 NT / EVG®6200 NT
掩模對準系統(自動化和半自動化)
■ 晶圓產品規格
:150 mm / 200 mm
■ 接近式楔形錯誤補償
■ 多種規格晶圓轉換時間少于5分鐘
■ 初次印刷高達180 wph / 自動對準模式為140 wph
■ 可選**的抗震型花崗巖平臺
■ 動態對準實時補償偏移
■ 支持**/新的UV-LED技術 了解客戶需求和有效的全球支持,這是我們提供優先解決方案的重要基礎。江蘇半導體光刻機
EVG101光刻膠處理系統的技術數據:
可用模塊:旋涂/ OmniSpray ® /開發
分配選項:
各種光刻膠分配泵,可覆蓋高達52000 cP的粘度;
液體底漆/預濕/洗盤;
去除邊緣珠(EBR)/背面沖洗(BSR);
恒壓分配系統/注射器分配系統。
智能過程控制和數據分析功能(框架軟件平臺)
用于過程和機器控制的集成分析功能
并行任務/排隊任務處理功能,提高效率
設備和過程性能跟/蹤功能:智能處理功能;事/故和警報分析/智能維護管理和跟/蹤
晶圓直徑(基板尺寸):高達300毫米
黑龍江低溫光刻機EVG光刻機**/新的曝光光學增強功能是對LED燈的設置。
EVG ® 105—晶圓烘烤模塊
設計理念:單機EVG ® 105烘烤模塊是專為軟或后曝光烘烤過程而設計。
特點:可以在EVG105烘烤模塊上執行軟烘烤,曝光后烘烤和硬烘烤過程。受控的烘烤環境可確保均勻蒸發。可編程的接近銷可提供對光刻膠硬化過程和溫度曲線的**/佳控制。EVG105烘烤模塊可以同時處理300 mm的晶圓尺寸或4個100 mm的晶圓。
特征
**烘烤模塊
晶片尺寸**/大為300毫米,或同時**多四個100毫米晶片
溫度均勻性≤±1°C @ 100°C,**/高250°C烘烤溫度
用于手動和安全地裝載/卸載晶片的裝載銷
烘烤定時器
基材真空(直接接觸烘烤)
N 2吹掃和近程烘烤0-1 mm距離晶片至加熱板可選
不規則形狀的基材
技術數據
晶圓直徑(基板尺寸):高達300毫米
烤盤:
溫度范圍:≤250°C
手動將升降桿調整到所需的接近間隙
EVG也提供量產型掩模對準系統。對于在微米范圍內的光刻圖形,掩模對準器是**/具成本效益的技術,與其他解決方案相比,每層可節省30%以上的成本,這對用戶來說是至關重要的。EVG的大批量制造系統旨在以**/佳的成本效率與**/高的技術標準相結合,并由卓/越的全球服務基礎設施提供支持。**重要的是,大焦深曝光光學系統完美匹配大批量生產中的厚抗蝕劑,表面形貌和非平面基片的圖形。在全球范圍內,我們為許多客戶提供了量產型的光刻機系統,得到了他們的無數好評。我們可以根據您的需求提供進行優化的多用途系統。
EVG ® 120--光刻膠自動化處理系統
EVG ® 120是用于當潔凈室空間有限,需要生產一種緊湊的,節省成本光刻膠處理系統。
新型EVG120通用和全自動光刻膠處理工具能夠處理各種形狀和尺寸達200 mm / 8“的基板。新一代EVG120采用全新的超緊湊設計,并帶有新開發的化學柜,可用于外部存儲化學品,同時提供更高的通量能力,針對大批量客戶需求進行了優化,并準備在大批量生產(HVM)中使用EVG120為用戶提供了一套詳盡的好處,這是其他任何工具所無法比擬的,并保證了**/高的質量各個應用領域的標準,擁有成本卻非常低。
我們用持續的技術和市場領導地位證明了自己的實力,包括EVG在使用各種非標準抗蝕劑方面的****的經驗。山西HERCULES光刻機
EVG已經與研究機構合作超過35年,能夠深入了解他們的獨特需求。江蘇半導體光刻機
EVG ® 610特征:
晶圓/基板尺寸從小到200 mm /8''
頂側和底側對準能力
高精度對準臺
自動楔形補償序列
電動和程序控制的曝光間隙
支持**/新的UV-LED技術
**小化系統占地面積和設施要求
分步流程指導
遠程技術支持
多用戶概念(無限數量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)
便捷處理和轉換重組
臺式或帶防震花崗巖臺的單機版
EVG ® 610附加功能:
鍵對準
紅外對準
納米壓印光刻(NIL)
EVG ® 610技術數據:
對準方式
上側對準:≤±0.5 μm
底面要求:≤±2,0 μm
紅外校準:≤±2,0 μm /具體取決于基板材料
鍵對準:≤±2,0 μm
NIL對準:≤±2,0 μm 江蘇半導體光刻機
岱美儀器技術服務(上海)有限公司致力于儀器儀表,是一家其他型的公司。岱美儀器技術服務致力于為客戶提供良好的磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發,一切以用戶需求為中心,深受廣大客戶的歡迎。公司秉持誠信為本的經營理念,在儀器儀表深耕多年,以技術為先導,以自主產品為重點,發揮人才優勢,打造儀器儀表良好品牌。在社會各界的鼎力支持下,持續創新,不斷鑄造***服務體驗,為客戶成功提供堅實有力的支持。