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IQAligner納米壓印技術服務

來源: 發布時間:2020-01-24

IQ Aligner®:用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統

■用于光學元件的微成型應用

■用于全場納米壓印應用

■三個**控制的Z軸,用于控制壓印光刻膠的總厚度變化(TTV),并在壓模和基材之間實現出色的楔形補償

■粘合對準和紫外線粘合功能


紫外線壓印_紫外線固化


印章

防紫外線基材

附加印記壓印納米結構分離印記

用紫外線可固化的光刻膠旋涂或滴涂基材。隨后,將壓模壓入光刻膠并在仍然接觸的情況下通過UV光交聯。

μ-接觸印刷

軟印章

基板上的材料

領取物料,物料轉移,刪除印章


EVG ? 520 HE是熱壓印系統。IQAligner納米壓印技術服務

    NIL300mmEV集團企業技術開發和知識產權總監MarkusWimplinger表示:“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年,為光刻/納米壓印技術供應鏈中的各個合作伙伴和公司與EVG合作提供了一個開放式的創新孵化器,從而縮短創新光子器件和應用的開發周期和上市時間。我們很高興與肖特公司合作,證明EVG光刻/納米壓印技術解決方案的價值,不僅有助于新技術和新工藝的開發,還能夠加速新技術和新工藝在大眾市場中的采用。我們正在攜手肖特開展的工作,彰顯了光刻/納米壓印技術設備和工藝的成熟性,為各種令人興奮的基于光子學的新產品和新應用的300-mm制造奠定了基礎。”SCHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓是**AR/MR設備的關鍵組件,已經實現了批量生產。產品組合提供了高達,支持深度沉浸的AR/MR應用,視野更廣,高達65度。在與增強現實硬件制造商進行多年研發之后,肖特在2018年推出了***代SCHOTTRealView?。這款**產品在上市一年后便榮獲了享有盛譽的2019年SID顯示行業獎(SIDDisplayIndustryAward2019)。關于肖特肖特是特種玻璃、微晶玻璃和相關高科技材料領域的**國際技術集團。公司積累了超過130年的經驗,是眾多行業的創新合作伙伴。廣東納米壓印測樣 EVG620 NT是以其靈活性和可靠性而聞名的,因為它以**小的占位面積提供了***的掩模對準技術。

HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

®的 UV-NIL紫外光納米壓印系統。


EVG的HERCULES ® NIL產品系列

HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

® UV-NIL系統達200毫米

對于大批量制造的完全集成的納米壓印光刻解決方案,具有EVG's專有SmartNIL ®印跡技術


HERCULES NIL是完全集成的UV納米壓印光刻跟 蹤解決方案,適用于比較大200 mm的晶圓,是EVG的NIL產品組合的***成員。HERCULES

NIL基于模塊化平臺,將EVG專有的SmartNIL壓印技術與清潔,抗蝕劑涂層和烘烤預處理步驟相結合。這將HERCULES NIL變成了“一站式服務”,將裸露的晶圓裝載到工具中,然后將經過完全處理的納米結構晶圓退回。

EVG ® 7200 LA特征:

專有SmartNIL ®技術,提供了****的印跡形大面積

經過驗證的技術,具有出色的復制保真度和均勻性

多次使用的聚合物工作印模技術可延長母版使用壽命并節省大量成本

強大且精確可控的處理

與所有市售的壓印材料兼容


EVG ® 7200 LA技術數據:

晶圓直徑(基板尺寸):直徑200毫米(比較大Gen3)(550 x 650毫米)

解析度:40 nm-10 μm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:SmartNIL ®

曝光源:大功率窄帶(> 400 mW /cm2)

對準:可選的光學對準:≤±15 μm

自動分離:支持的

迷你環境和氣候控制:可選的


工作印章制作:支持的


EVG ? 770是分步重復納米壓印光刻系統,使用分步重復納米壓印光刻技術,可進行有效的母版制作。

對于壓印工藝,EVG610允許基板的尺寸從小芯片尺寸到比較大直徑150 mm。納米技術應用的配置除了可編程的高和低接觸力外,還可以包括用于印章的釋放機構。EV Group專有的卡盤設計可提供均勻的接觸力,以實現高產量的壓印,該卡盤支持軟性和硬性印模。


EVG610特征:

頂部和底部對準能力

高精度對準臺

自動楔形誤差補償機制

電動和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術

**小化系統占地面積和設施要求

分步流程指導

遠程技術支持

多用戶概念(無限數量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)

敏捷處理和光刻工藝之間的轉換

臺式或帶防震花崗巖臺的單機版


附加功能:

鍵對準

紅外對準

納米壓印光刻 

μ接觸印刷


HERCULES ? NIL是完全集成SmartNIL ?的 UV-NIL紫外光納米壓印系統。內蒙古納米壓印優惠價格

EVG開拓了這種非常規光刻技術,擁有多年技術,掌握了NIL,并已在不斷增長的基板尺寸上實現了批量生產。IQAligner納米壓印技術服務

儀器儀表行業飛速發展一是因為我國的經濟高速穩定發展的運行;按照過去的經驗,如果GDP的增長在10%以上時,儀表行業的增長率則在26%~30%之間。二是因為我國宏觀調控對儀表行業的影響有一個滯后期,儀表往往在工程的后期才交付使用,因此,因宏觀調控政策而減少的收入對儀表行業的影響不會太大。我國現有有限責任公司企業數千多家,已經形成門類品種比較齊全,具有一定技術基礎和生產規模的產業體系。但同時業內行家也指出,雖然我國測試儀器產業有了一定的發展,但遠遠不能滿足國民經濟各行各業日益增長的迫切需求。伴隨移動互聯網的爆發式增長,如今,它已經漸漸取代電子商務成為了整個互聯網產業增速**快的領域,而移動終端的入口也隨即成為了傳統行業的必爭之地。磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發行業進軍移動互聯網實現線上發展勢在必行。隨著中國的不斷進步,世界上只有一個救世主——市場,能救企業的只有你自己——自強,提高其他型重點競爭力才是中國制造業的獨一出路。以顯微科學儀器行業的發展與變化為例,以親身的實踐為例,毛磊認為,隨著經濟的不斷發展,我國的環境和實力都發生了巨大變化,有了完全不同的基礎,這為國產科學儀器走向**增強了信心。IQAligner納米壓印技術服務

岱美儀器技術服務(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿易試驗區加太路39號第五層六十五部位,是一家磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】的公司。岱美儀器技術服務作為磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】的企業之一,為客戶提供良好的磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發。岱美儀器技術服務繼續堅定不移地走高質量發展道路,既要實現基本面穩定增長,又要聚焦關鍵領域,實現轉型再突破。岱美儀器技術服務創始人陳玲玲,始終關注客戶,創新科技,竭誠為客戶提供良好的服務。

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