LFS控制單元上的每個(gè)D-Sub15插座都有4個(gè)對(duì)應(yīng)于AVI元件的開(kāi)關(guān)輸出，這些AVI元件以任意4個(gè)矩形方向（即平行或直角）放置，不允許其他方向。

面向LFS傳感器的藍(lán)色LED直立。將***個(gè)AVI元件連接到后面板上的12個(gè)D-Sub15插座中的任何一個(gè)。使用筆在位置A和D之間滑動(dòng)開(kāi)關(guān)。

傳感器的位置:

傳感器可以移動(dòng)到任何所需位置。它可能位于負(fù)載下方或外部，但必須位于支持AVI元件的同一表面上。連接后，傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。

支承面剛度:

支承面的剛度很重要。水平傳感器無(wú)法區(qū)分水平加速度和傾斜。因此，LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅(jiān)硬，以便在附近移動(dòng)時(shí)不會(huì)明顯傾斜。傾斜將導(dǎo)致傳感器輸出飽和，隔離將失效。 LFS傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。襯底隔振臺(tái)測(cè)樣

Table Stable生產(chǎn)的主動(dòng)式微振動(dòng)控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動(dòng)式防振系統(tǒng)，具有**的防振單元和控制器。

可能有多種變化，例如將其用作電子顯微鏡（SEM）的隔振臺(tái)，或與光學(xué)平臺(tái)結(jié)合使用的高性能光學(xué)實(shí)驗(yàn)臺(tái)。

特點(diǎn)：

?通過(guò)主動(dòng)控制沒(méi)有共振點(diǎn)，可以防止低頻范圍的振動(dòng)。

?安裝時(shí)不需要參數(shù)調(diào)整，安裝后可以立即使用。-由于不使用空氣彈簧，因此不需要空氣彈簧。

?振動(dòng)狀態(tài)一目了然。

（可以目視觀察控制器的每個(gè)LED閃爍單元的振動(dòng)狀態(tài)。）

-加速度信號(hào)可以從外部輸出。

（通過(guò)將BNC連接器連接到示波器，可以看到活動(dòng)對(duì)象正在正常工作。 光刻機(jī)隔振臺(tái)原理AVI 200-M的基本配置包括兩個(gè)單個(gè)承載模塊和一個(gè)控制單元，比較大可以負(fù)載400公斤。

TS主動(dòng)隔振臺(tái)在3D空間的6個(gè)自由度中主動(dòng)式隔振  從0.7 Hz 到100 Hz

在21世紀(jì)納米技術(shù)(即先進(jìn)的半導(dǎo)體**相關(guān)的信息技術(shù),基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù),原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn)), 振動(dòng)、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測(cè)量環(huán)境的抑 制因素。

在納米技術(shù)中，為了獲得可靠的結(jié)果，使用充氣被動(dòng)隔振臺(tái)無(wú)法隔離低頻振動(dòng)，此時(shí)需要主動(dòng)隔離。先進(jìn)的主動(dòng)式隔振系統(tǒng)“TS 系列” 將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測(cè)量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。

裝載設(shè)備：

掃描電子顯微鏡，如 AFM3D表面分析儀，激光顯微鏡，激光干涉儀，液體表面張力測(cè)量系統(tǒng)，顯微硬度測(cè)量?jī)x，

醫(yī)療檢測(cè)設(shè)備等

AVI600-M

AVI 600-M的基本配置包括兩個(gè)緊湊型單元和一個(gè)控制單元，比較大負(fù)載為800公斤。通過(guò)增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。

AVI 600-M的隔離始于1,2 Hz，超過(guò)10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 600-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 600-M的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式

AVI 600-M緊湊型設(shè)備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡(jiǎn)單，友好的處理概念-從而避免在設(shè)備上放置沉重的設(shè)備（例如SEM）時(shí)進(jìn)行任何復(fù)雜的操作。

技術(shù)指標(biāo)：

頻率：  1.2-200 Hz

負(fù)載范圍：  0-1200公斤

（單件）：  600公斤 控制中心有超載指示燈。

TS-140+40

TS-140 +40結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)

這種中型動(dòng)態(tài)隔振系統(tǒng)非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應(yīng)用。

在公制（M6 x 25mm）或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。

TS-140 +40結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)***性與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)

TS-140 +40的隔離始于0.7 Hz，超過(guò)10Hz后迅速增加至40db

缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見(jiàn)的被動(dòng)空氣阻尼方法要好得多

TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性

TS 140 +40的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個(gè)方向的震動(dòng)隔離模式

精確的自動(dòng)高度調(diào)節(jié)機(jī)制即使在負(fù)載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平

遙控器允許在外部將隔離開(kāi)關(guān)“打開(kāi)”和“關(guān)閉”

用戶友好，實(shí)用的操作優(yōu)勢(shì)是創(chuàng)新建筑理念的結(jié)果

TS-140 +40的高度*84毫米

TS 140 +40的重量*為28.5千克 AVI 400-XL的基本配置包括兩個(gè)緊湊型隔振模塊和一個(gè)控制單元，比較大負(fù)載為800公斤。中科院隔振臺(tái)廠家

安裝好后參數(shù)不需要調(diào)整。襯底隔振臺(tái)測(cè)樣

把手輕輕地放在桌面上。可能會(huì)有一個(gè)或多個(gè)LED亮起，表示過(guò)載。了解在不造成過(guò)載的情況下可以施加多少力。如果您現(xiàn)在對(duì)桌面施加很大的力，所有過(guò)載指示燈都將亮起，隔離指示燈將閃爍幾秒鐘，表示系統(tǒng)在過(guò)載解除（待機(jī)模式）之前暫時(shí)不再隔離。卸下過(guò)載后，隔離燈應(yīng)再次亮起，系統(tǒng)開(kāi)始隔離。一些過(guò)載LED可能會(huì)亮起并持續(xù)幾秒鐘。即使在這個(gè)階段，系統(tǒng)也在隔離，但增益降低。嚴(yán)重過(guò)載后，系統(tǒng)可能需要半分鐘才能完全隔離，但通常只需要幾秒鐘。襯底隔振臺(tái)測(cè)樣

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司是一家磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的公司，致力于發(fā)展為創(chuàng)新務(wù)實(shí)、誠(chéng)實(shí)可信的企業(yè)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)深耕行業(yè)多年，始終以客戶的需求為向?qū)В瑸榭蛻籼峁?**的磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)繼續(xù)堅(jiān)定不移地走高質(zhì)量發(fā)展道路，既要實(shí)現(xiàn)基本面穩(wěn)定增長(zhǎng)，又要聚焦關(guān)鍵領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)型再突破。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注儀器儀表市場(chǎng)，以敏銳的市場(chǎng)洞察力，實(shí)現(xiàn)與客戶的成長(zhǎng)共贏。