我們的輪廓儀有什么優勢呢
世界先進水平的產品技術
合理的產品價格
24小時到現場的本地化售后服務
無償產品技術培訓和應用技術支持
個性化的應用軟件服務支持
合理的保質期后產品服務
更佳的產品性價比和更優解決方案
非接觸式輪廓儀(光學輪廓儀)是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測量儀器,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。(本段來自網絡) NanoX-8000隔振系統:集成氣浮隔振 + 大理石基石。計量院輪廓儀自動化測量
filmOnline查film3D圖像並與其互動.請參考我們新型光學輪廓儀!film3D使得光學輪廓測量更易負擔***,表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現今比較高 分辨率之光學輪廓儀的測量技術包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)。索取技術資料索取報價這就是您需要的解析力Thefilm3D的直觀軟件包括表面粗糙度,形狀和臺階高度的測量。在數秒內,您可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。***!**的網路3D影像瀏覽/分析filmOnline可存儲、共享、查看與分析來自您的光學輪廓儀或3D顯微鏡之3D影像。任何臺式電腦,平板電腦或智能手機上都能查看和操作。享受***的圖像分析功能,包括表面輪廓(粗糙度)和階高 分析。其他輪廓儀列為選備的功能已經是我們的標準配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能?每film3D都已標配自動化X/Y平臺包含tip/tilt功能。以我們的階高標準片建立標準每film3D配備了一個10微米階高標準片,可達%準確度。另我們還提供具有100nm,2微米以及4微米等多階高標準片。掩模對準輪廓儀學校會用嗎輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用。
輪廓儀產品應用
藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析(粗拋與精拋比較)
高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,核探測
Oled 特征結構測量,表面粗糙度
外延片表面缺 陷檢測
硅片外延表面缺 陷檢測
散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制)
生物、醫藥新技術,微流控器件
微結構均勻性 缺 陷,表面粗糙度
移相算法的優化和軟件系統的開發 本作品采用重疊平均移相干涉算法,保證了亞納米量級的測量精度;優化軟件控制系統,使每次檢測時間壓縮到10秒鐘以內,同時完善的數據評價系統為用戶評價產品面形質量提供了方便。
如何正確使用輪廓儀
準備工作
1.測量前準備。
2.開啟電腦、打開機器電源開關、檢查機器啟動是否正常。
3.擦凈工件被測表面。
測量
1.將測針正確、平穩、可靠地移動在工件被測表面上。
2.工件固定確認工件不會出現松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現
3.在儀器上設置所需的測量條件。
4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產生。
5.測量完畢,根據圖紙對結果進行分析,標出結果,并保存、打印。
輪廓的角度處理:
角度處理:兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理:兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理:圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理:直線度、凸度、LG凸度、對數曲線
輪廓儀可用于Oled 特征結構測量,表面粗糙度,外延片表面缺 陷檢測,硅片外延表面缺 陷檢測。
NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術參數
3D測量主要技術指標(1):
測量模式: PSI + VSI + CSI
Z軸測量范圍: 大行程PZT 掃描 (300um 標配/500um選配)
10mm 精密電機拓展掃描
CCD相機: 1920x1200 高速相機(標配)
干涉物鏡: 2.5X, 5X, 10X(標配), 20X, 50X, 100X(NIKON )
物鏡切換: 5孔電動鼻切換 FOV: 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)
Z軸聚焦: 高精密直線平臺自動聚焦
照明系統: 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換(綠色/藍色)
傾斜調節: ±5°電動調節
橫向分辨率: ≥0.35μm(與所配物鏡有關)
3D測量主要技術指標(2):
垂直掃描速度: PSI : <10s,VSI/CSI:< 38um/s
高度測量范圍: 0.1nm – 10mm
表面反射率: > 0.5%
測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm
準確度 < 1nm
RMS重復性 < 0.01nm (1σ)
臺階高重復性:0.15nm(1σ)
VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm
準確度<1%
重復性<0.1% (1σ,10um臺階高) 由于光罩中電路結構尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。NanoScopy輪廓儀售后服務
反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上。計量院輪廓儀自動化測量
輪廓儀產品概述:
NanoX-2000/3000
系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光
垂直掃描干涉測量(CSI)等技術的基礎上,以其納米級測量準確度和重復性(穩定性)定量地反映出被測件的表面粗
糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加
工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。
想要了解更多的信息,請聯系我們岱美儀器。 計量院輪廓儀自動化測量
岱美儀器技術服務(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿易試驗區加太路39號第五層六十五部位,是一家磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】的公司。岱美儀器技術服務擁有一支經驗豐富、技術創新的專業研發團隊,以高度的專注和執著為客戶提供磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發。岱美儀器技術服務致力于把技術上的創新展現成對用戶產品上的貼心,為用戶帶來良好體驗。岱美儀器技術服務始終關注儀器儀表市場,以敏銳的市場洞察力,實現與客戶的成長共贏。