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晶圓隔振臺特點

來源: 發布時間:2021-03-02

TS-140 +40結合了久經考驗的技術***性與優雅且用戶友好的設計

TS-140 +40的隔離始于0.7 Hz,超過10Hz后迅速增加至40db

缺少低頻諧振意味著比大多數常見的被動空氣阻尼方法要好得多

TS系統的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩定性

TS 140 +40的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式

精確的自動高度調節機制即使在負載發生重大變化后也能將頂板穩定在比較好工作水平

遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”

用戶友好,實用的操作優勢是創新建筑理念的結果

TS-140 +40的高度*84毫米

TS 140 +40的重量*為28.5千克 TS-140的高度*為84毫米。晶圓隔振臺特點

使用AVI系統時,系統只能插入單獨接地的插座。無論是在插座處,還是使用未接地的延長電纜,都不要斷開此接地。如果您懷疑系統以任何方式不安全,請拔下插頭并防止任何可能的意外使用。聯系**近的服務中心。在打開此設備之前,請確保它連接到正確的電源電壓。不要取下任何蓋子或讓任何金屬物體進入通風槽。在取下任何蓋子之前,斷開電源。請向合格人員咨詢服務。不要在可能的環境中使用。保險絲位于控制單元后側的電源插座中。未先拔下電源線,不要試圖更換保險絲。只能更換類型正確的保險絲。不要試圖繞過保險絲。確保控制單元中的通風縫沒有被覆蓋,并且空氣可以自由循環。堵塞狹縫可能導致過熱,從而引發火災。對于控制單元和隔離元件之間的連接,*使用提供的D-Sub 15電纜(m/f)。高靈敏度的實驗設備隔振臺推薦產品隔振效率可以達到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。

傳感器位置

傳感器可以移動到任何期望的位置。 它可能位于負載下方或外部,但必須位于支持AVI元素的同一表面上。 制作后連接時,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。


支撐面的剛性

支撐表面的剛性很重要。 水平傳感器無法區分在水平加速度和傾斜之間。 LFS和因此,AVI元素所在的位置必須盡可能堅硬,以使其不會明顯傾斜當人們在附近移動時。 傾斜會導致傳感器輸出飽和并失去隔離。


運作方式

設置好并將電源連接到傳感器后,就可以使用系統了。按下電源上的電源旋鈕打開電源。 綠色LED將點亮。 紅色LED開始閃爍,這意味著存在一些振動。現在,您可以通過按啟用按鈕來啟用系統。 紅色LED不應點亮了。 如果它們點亮,則表示系統過載且振動建筑物中存在的物體太嚴重。


請注意,如果未啟用LFS,則它將無效。


敏感的傳感器單元,請勿撞擊,敲打或跌落!


AVI-產品參數:AVI-200系列(負載:**多800kg)

型號:AVI-200SLP,AVI-200MLP,AVI-200XLP

系統形狀:控制器與防振單元分離型

主動控制范圍:被動隔振范圍200Hz以上

確認防振狀態:使用控制器背面的BNC連接器,外部連接前面的8個LED指示防振狀態

尺寸:120×396×130×636×130×856×

控制器尺寸:241×287×142毫米

承重:400kg

單位重量:約9kg

聯絡我們

電源電壓:95-240VAC50-60赫茲

耗電量:普通9W

工作溫度范圍:5℃?40℃

工作濕度范圍:10?90%(5?30℃)?10?60%(30?40℃)

可選零件(1)裝載板,石板,鑄鐵板*另行咨詢選裝(2)高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨咨詢。 安裝好后參數不需要調整。

桌面必須足夠堅硬,以防止兩個隔離單元繞其長水平軸相對旋轉。蜂窩狀墊板或30mm厚的鋁板效果比較好,但可以使用石板甚至實木板。有關連接孔的位置,將電纜連接至隔離裝置的兩側。附加裝置通常與***個裝置平行放置,但這并非***必要。但是,必須特別注意桌面的正確連接,如下所述。注意,也可以將隔離裝置直接連接到所支持的設備上。在這種情況下,剛性安裝是***必要的。我們很樂意為您提供比較好安裝方法的建議。

如果想要了解更多信息請聯系我們岱美儀器。 在過去的40年,HERZ發展成為被動式隔振設備的領頭供應商 ,并在此領域積累了豐富的經驗。歐洲隔振臺激光設備主動防震應用

HERZ在被動式隔振系統產品之外,補充了由瑞士Table Stable Ltd.開發的先進主動式隔振系統。晶圓隔振臺特點

該系統的固有剛度比1

Hz諧振無源隔離器的固有剛度大25倍,可提供出色的方向和位置穩定性。

有源隔離系統的特性通常表現為幾乎沒有低頻共振,這種共振困擾著所有無源隔離系統。


該系統的設計即使在低至2-3Hz的頻率下也能提供出色的隔離度,在該頻率下,許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅。隔離從大約0.7Hz開始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。


所有控制電路都內置在該單元**耗小于2.5W。該設備具有通用輸入,可以連接到100至240 VAC的任何交流電源。優化設計以實現對諸如掃描探針顯微鏡(AFM, STM),干涉儀和其他高 分辨率儀器,從而使這些儀器能夠達到**終的性能。事實證明,該表在支持靈敏實驗(例如膜片鉗,顯微注射或用于測量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽)方面非常成功。 晶圓隔振臺特點

岱美儀器技術服務(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿易試驗區加太路39號第五層六十五部位,是一家磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】的公司。岱美儀器技術服務擁有一支經驗豐富、技術創新的專業研發團隊,以高度的專注和執著為客戶提供磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發。岱美儀器技術服務不斷開拓創新,追求出色,以技術為先導,以產品為平臺,以應用為重點,以服務為保證,不斷為客戶創造更高價值,提供更優服務。岱美儀器技術服務始終關注自身,在風云變化的時代,對自身的建設毫不懈怠,高度的專注與執著使岱美儀器技術服務在行業的從容而自信。

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