1.前處理:晶圓清洗、去氧化層、活化表面。
2.裝載:將晶圓固定于旋轉載具,浸入鍍液。
3.電鍍:
施加電流,金屬離子在晶圓表面還原沉積。
旋轉載具確保鍍液流動均勻,消除厚度差異。
4.后處理:鍍層退火、清洗、干燥。
1.高均勻性:
旋轉+噴淋設計減少“邊緣增厚”現象,鍍層均勻性達±5%以內。
2.精密控制:電流密度精度:±1 mA/cm2;溫度波動:±0.5℃。
3.潔凈度保障:設備內建HEPA過濾系統,滿足Class 1000以下潔凈環境。
4.高效生產:支持多片晶圓同時處理(如6片/批次),UPH(每小時產量)可達50~100片。
1.先進封裝:2.5D/3D IC的TSV鍍銅、Fan-Out封裝中的RDL金屬化。
2.功率器件:IGBT、MOSFET背面金屬化(鍍銀、鍍鎳)。
3.傳感器與MEMS:微結構表面鍍金,提升電氣性能與可靠性。 連續鍍生產線的導電輥鍍覆耐磨碳鎢涂層,降低鋼帶傳輸摩擦,避免劃傷與鍍層缺陷。連續電鍍設備發展
集氣罩:根據前處理設備形狀、廢氣散發特點定制,如槽邊側向集氣罩等,可高效收集廢氣,常見材質有 PP 等耐腐蝕材料 。
通風管道:多選用耐腐蝕的 PP 材質,用于連接抽風設備各部件,將廢氣輸送至處理設備,其設計需考慮廢氣流量、阻力等因素 。
引風機:常安裝在輸送通道出風口處,為廢氣的抽取和輸送提供動力 ,可根據實際需求選擇不同規格和性能的引風機。
此外,一些抽風裝置還可能配備過濾處理箱、活性炭吸附網板等,用于對廢氣進行初步過濾、吸附,減少大顆粒雜質等對風機的損害 。 湖南手動電鍍設備電鍍設備中的掛鍍裝置,通過掛具懸掛工件,適用于汽車零件等中大件,可實現鍍層均勻附著。
陽極氧化線的典型應用場景
1.鋁加工與建筑領域:
建筑鋁型材(門窗、幕墻)的陽極氧化 + 染色,提升耐候性和美觀度。
鋁制家具、裝飾件(如拉手、面板)的表面處理。
2.電子與消費品:3C 產品外殼(手機、筆記本電腦)的陽極氧化著色,實現金屬質感與輕量化(如蘋果 iPhone 的陽極氧化工藝)。鋁電解電容器的陽極箔氧化(形成絕緣膜)。
3.機械與航空航天:鋁合金零件的硬質陽極氧化(如航空發動機葉片、液壓部件),增強耐磨和耐溫性(耐溫可達 150℃以上)。鈦合金醫用植入物的陽極氧化,提升生物相容性。
4.汽車工業:鋁合金輪轂、發動機零件的陽極氧化,兼顧防腐與散熱。汽車內飾件(如換擋旋鈕、裝飾條)的裝飾性氧化處理。
與其他表面處理生產線的對比
對比項 陽極氧化線 電鍍線 電泳線 涂層性質 金屬氧化物(與基體一體) 外來金屬 / 合金鍍層 有機樹脂涂層(非金屬) 結合力 化學鍵結合(強) 機械 / 冶金結合 物理吸附 + 化學鍵結合 主要材料 鋁、鎂、鈦等輕金屬 鋼鐵、銅、塑料(導電化后) 金屬、塑料(導電化后) 功能性 側重防腐、耐磨、絕緣、裝飾 防腐、導電、貴金屬裝飾 防腐、絕緣、均勻覆蓋
是電鍍自動化生產系統的控制單元,主要用于協調龍門機械手、電鍍槽、電源系統、液位/溫度傳感器等設備的運行,確保電鍍工藝精細執行。
特性說明:主要電器采用西門子及三菱PLC、歐姆龍、富士電器等品牌,每一臺行車可自動、半自動轉換,開放式自由程序選擇,智能控制管理,在電腦和人機界面觸摸屏對數據實時處理及進行有效監控,設計科學合理、緊湊、自動化程度高;用于ABS塑料、汽車、五金、電子、衛浴、燈飾家電等行業 安全防護設備包括防腐內襯、漏電保護裝置及應急沖洗設施,降低藥液泄漏與觸電風險。
電鍍滾鍍機與電鍍生產線的關系對比:滾鍍機 vs 其他電鍍設備(在生產線中的差異)
對比項 滾鍍機 掛鍍設備 連續鍍設備(如鋼帶鍍) 適用工件 小尺寸、大批量 中大尺寸、精密件 連續帶狀或線狀工件銅線) 鍍層均勻性 良好(動態翻滾減少屏蔽) 優(單件懸掛,無遮擋 ) 高(勻速傳動,電解液穩定) 產能 極高(單次處理數千件) 中(單件或小批量) 超高(連續生產,24 小時不停機)人工干預 低(滾筒自動上下料) 高(需人工掛卸工件) 低(全自動收放卷) 在生產線中的角色 小件批量處理設備 大件 / 精密件處理設備 連續材料處理設備 鍍銅設備的陽極磷銅板定期活化處理,維持表面活性,穩定銅離子濃度,保障鍍層沉積速率。四川手動電鍍設備
脈沖電鍍電源設備通過周期性通斷電流,減少鍍層孔隙率,提升結晶細致度,適用于精密零件電鍍。連續電鍍設備發展
硫酸霧等酸性廢氣選酸霧凈化塔;低濃度有機廢氣用活性炭吸附裝置,中高濃度則考慮催化燃燒裝置;有顆粒物選布袋或靜電除塵器,混合廢氣需組合設備。
各設備處理率有別,處理量匹配電鍍規模,大生產線選大風量設備,小廠選小風量的。
涵蓋能耗、耗材及維護費,能耗低、耗材更換便宜、維護簡單的設備更優。場地有限選緊湊設備,處理易燃易爆廢氣的要防爆。操作管理上,選自動化程度高的。
連續電鍍設備發展