碳氫真空清洗機在半導(dǎo)體晶圓清洗中的特殊要求呢？

舉報

唯恒塬環(huán)保科技（蘇州）有限公司2025-06-29

必須使用超高純度碳氫溶劑，避免引入雜質(zhì)污染晶圓。清洗過程在超凈無塵環(huán)境中進行，設(shè)備具備嚴格的潔凈度控制和監(jiān)測系統(tǒng)。采用溫和的清洗工藝，防止損傷晶圓表面的納米級結(jié)構(gòu)，清洗后需進行嚴格的顆粒和離子檢測。

本回答由 唯恒塬環(huán)保科技（蘇州）有限公司 提供

唯恒塬環(huán)保科技（蘇州）有限公司

簡介：唯恒塬環(huán)保主要生產(chǎn)：碳氫/改性醇真空清洗機、真空蒸餾回收機、真空干燥、廢水蒸發(fā)器系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng)等

簡介：唯恒塬環(huán)保主要生產(chǎn)：碳氫/改性醇真空清洗機、真空蒸餾回收機、真空干燥、廢水蒸發(fā)器系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng)等

類似問題

企業(yè)信息

唯恒塬環(huán)保科技（蘇州）有限公司

聯(lián)系人：陳高民

手機： 13915402616

地址：

江蘇省蘇州市虎丘區(qū)蘇州高新區(qū)泰山路2號46幢11層07號房