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晶圓甩干機主要由哪些部分構成?

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無錫凡華半導體科技有限公司2025-02-06

主要由旋轉系統、驅動電機、控制系統、腔室、噴淋系統、氮氣供應系統以及保護外殼等部分組成。

無錫凡華半導體科技有限公司
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簡介:無錫凡華半導體科技有限公司主營甩干機、涂膠顯影機、激光打標機,IPA干燥機,晶舟轉換器,花籃清洗機等
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