單晶爐的氣氛控制系統有什么作用？

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無錫保利新能源設備制造有限公司2024-11-26

單晶爐的氣氛控制系統用于調節爐內氣體的種類、流量和壓力，以創造適合晶體生長的氣體環境。不同的半導體材料對氣體環境的要求不同，例如硅單晶生長時通常需要惰性氣體（如氬氣）作為保護氣，以防止熔融材料氧化。氣氛控制系統還能通過調節氣體成分和流量，影響晶體生長速率和晶體質量。

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