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RTP快速退火爐有什么特點？

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東莞市晟鼎精密儀器有限公司2025-04-05

①紅外鹵素燈管加熱，冷卻采用風冷；②燈管功率PID控溫，可準確控制溫度升溫，保證良好的重現(xiàn)性與溫度均勻性；③標配三組工藝氣體

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東莞市晟鼎精密儀器有限公司
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簡介：晟鼎精密主營產(chǎn)品RTP快速退火爐、等離子清洗機、等離子去膠機、接觸角測量等表面性能處理及檢測設(shè)備。
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退火爐＋等離子
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    東莞市晟鼎精密儀器有限公司 2025-04-06

    ①采用平行進氣方式，氣體的進入口設(shè)置在WAFER表面，避免退火過程中冷點產(chǎn)生，保證產(chǎn)品良好的溫度均勻性；②大氣與真空處理方式均可選擇，進氣前氣體凈化處理；③可測樣品尺寸為6-12英寸

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東莞市晟鼎精密儀器有限公司

聯(lián)系人： 姜小姐

手   機： 18028282170

網(wǎng)   址： https://www.sindinplasma.com/

地   址：
廣東省東莞市市轄區(qū)長安鎮(zhèn)新安社區(qū)橫中路33號
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