研究應著眼于開發一種新型的可配置、可升級的微納制造平臺和系統，以降低大批量或是小規模定制產品的生產成本。新一代微納制造系統應滿足下述要求：（1）能生產多種多樣高度復雜的微納產品；（2）具有微納特性的組件的小型化連續生產；（3）為了掌握基于整個生產加工鏈制造的知識，新設計和仿真系統的產品開發過程的全部跨學科知識進行條理化和儲存；（4）為了保證生產的靈活性和適應性，應確保在分布式制造中各企業的有效合作，以支撐通過新型商業生產、管理和物流方法來實現的中小型企業在綜合制造網絡中的有效整合；（5）是一個擁有更高級的智能和可靠性、可根據相應環境自行調整設置及生產加工參數的、可嵌入整個生產制造行業的制造系統；（6）新型可快速配置和價格適中的微納制造系統，融入了面向任務和可重復配置的理念，能夠實現連續的系統升級和無縫重復配置。微納加工設備主要有：光刻、刻蝕、成膜、離子注入、晶圓鍵合等。河北鍍膜微納加工公司

微納加工技術的特點：（1）微電子化：采用MEMS工藝，可以把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執行器集成于一體，或形成微傳感陣列、微執行器陣列甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復雜的微系統。微傳感器、微執行器和微電子器件的集成可制造出可靠性、穩定性比較高的微電子機械系統。（2）MEMS技術適合批量生產：用硅微加工工藝在同一硅片上同時可制造出成百上千微型機電裝置或完整的MEMS，批量生產可較大降低生產成本。（3）多學科交叉：MEMS涉及電子、機械、材料、制造、信息與自動控制、物理、化學和生物等多學科，并集約當今科學發展的許多成果。功率器件微納加工微納制造的加工材料多種多樣。

Mems加工工藝和微納加工大體上都是一樣的，只是表述不一樣而已，MEMS即是微機械電子系統，大多時候等同于微納系統是根據產品需要，在各類襯底（硅襯底，玻璃襯底，石英襯底，藍寶石襯底等等）制作微米級微型結構的加工工藝。微納傳感器加工工藝制作的微型結構主要是作為各類傳感器和執行器等，其中更加器件原理需要而制作的可動結構（齒輪，懸臂梁，空腔，橋結構等等）以及各種功能材料，本質上是將環境中的各種特征參數（溫度，壓力，氣體，流量等等）變化通過微型結構轉化為各種電信號（電壓，電阻，電流等等）的差異，以實現小型化高靈敏的傳感器和執行器。

在過去的幾年中，全球各地的研究機構和大學已開始集中研究微觀和納米尺度現象、器件和系統。雖然這一領域的研究產生了微納制造方面的先進知識，但比較顯然，這些知識的產業應用將是增強這些技術未來增長的關鍵。雖然在這些領域的大規模生產方面已經取得了進步，但微納制造技術的主要生產環境仍然是停留在實驗室中，在企業的大規模生產環境中難得一見。這就導致企業在是否采用這些技術方面猶豫不決，擔心它們可能引入未知因素，影響制造鏈的性能與質量。就這一點而言，投資于基礎設施的發展，如更高的模塊化、靈活性和可擴展性可能會有助于生產成本的減少，對于新生產平臺成功推廣至關重要。這將有助于吸引產業界的積極參與，與率先的研究實驗室一起推動微納產品的不斷升級換代。微納加工技術具有高精度、科技含量高、產品附加值高等特點。

微納制造技術是指尺度為毫米、微米和納米量級的零件，以及由這些零件構成的部件或系統的設計、加工、組裝、集成與應用技術。傳統“宏”機械制造技術已不能滿足這些“微”機械和“微”系統的高精度制造和裝配加工要求，必須研究和應用微納制造的技術與方法。微納制造技術是微傳感器、微執行器、微結構和功能微納系統制造的基本手段和重要基礎。不同的表面微納結構可以呈現出相應的功能，隨著科技的發展，不同功能的微納結構及器件將會得到更多的應用。目前表面功能微納結構及器件，諸如超材料、超表面等充滿“神奇”力量的結構或器件，的發展仍受到微納加工技術的限制。因此，研究功能微納結構及器件需要從微納結構的加工技術方面進行普遍深入的研究，提高微納加工技術的加工能力和效率是未來微納結構及器件研究的重點方向。微納加工包括光刻、磁控濺射、電子束蒸鍍、濕法腐蝕、干法腐蝕、表面形貌測量等。佛山刻蝕微納加工技術

大部份的濕刻蝕液均是各向同性的，換言之，對刻蝕接觸點之任何方向腐蝕速度并無明顯差異。河北鍍膜微納加工公司

眾所周知，微納米技術是我國貫徹落實“中國制造2025”和“中國創新2030”的重要舉措與中心技術需求，是促進制造業高級化、綠色化、智能化的重要基礎。基于物體微米、納米尺度獨特的物理和化學特性，研制新材料、新工藝、新器件的微納制造技術，已經成為戰略性新興產業中心技術，必將對21世紀的航空、航天、信息科學、生命科學和健康保健、汽車工業、仿生機器人、交通、家具生活等領域產生深遠的影響。推進微納制造技術產業化落地，探討產業化路徑，遴選優良產業化示范項目。河北鍍膜微納加工公司