臥式往復真空泵一般為有油式,立式多為無油式。羅茨泵在泵腔內,有二個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間,轉子與泵殼內壁之間,保持有一定的間隙,可以實現高轉速運行。由于羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯使用。羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵。水噴射真空泵機組廠家直供
真空泵達到一定臨界壓力時,往往抽速會減小,這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量,這種流量的不一致破壞了流量連續性的要求,必然會引起真空機組不能正常工作。但如在高低真空泵之間再連接一臺中真空泵,便可起到承上啟下的作用,流量連續,而且各泵皆可工作在較好的狀態。羅茨泵能工作在中真空范圍,是適合的,故又稱羅茨增壓泵,由于其壓縮比不高,正好可連接幾Pa至幾百Pa的范圍。當三級高真空機組進入較高的真空度時,由于主泵的排氣流量明顯減少,此時只靠一臺較小的前級泵便可維持抽氣的連續性,在實際運用中這是經常采用的方法,這樣可減少機組的能耗。水噴射真空泵機組廠家直供真空泵達到一定臨界壓力時,往往抽速會減小。
真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵,真空泵是一種旋轉式變容,真空泵必須具有前級泵配合,方可使用在較寬的壓力范圍內有較大的抽速,對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感,普遍用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉,被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內,再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態,所以,在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。 但當轉子頂部轉過排氣口邊緣,v0空間與排氣側相通時,由于排氣側氣體壓強較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時,氣體排出泵外。羅茨真空泵分為常規羅茨泵及氣冷直排大氣羅茨泵,常規羅茨泵承受的壓差小大約為3000~6000Pa,所以常規羅茨泵必須帶前級泵預抽,不能直接排大氣。氣冷羅茨泵因為增加了熱量平衡裝置可以直接排大氣,氣冷羅茨真空泵的極限壓力為13000Pa。水環真空泵是靠泵腔容積的變化來實現吸氣、壓縮和排氣的。
真空泵整體結構不勻稱,泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。折疊液環泵,雖然液環泵屬于粗真空泵,但在中國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領域仍然有著很大的市場。液環泵工作原理在國外,液環泵的銷售額占全部真空泵市場的14%,只次于干泵,由于液環泵大部分是鑄件,加工要求也不高,屬勞動密集型產品,所以國產液環泵在價格上有競爭優勢,關鍵是要改進設計,縮小體積,減輕重量,提高效率,降低能耗。折疊滑閥泵,由于滑閥泵比較耐用、可靠,國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵。由于真空泵的重心較高,在高速運轉時穩定性差,故這種型式多用于小泵。水噴射真空泵機組廠家直供
對于較大型的高真空應用設備,也可適當加強前級泵的預抽能力,進一步縮短抽氣時間。水噴射真空泵機組廠家直供
低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著我國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展,分子泵應該是我國真空泵制造業發展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整的系列,并研究開發出各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場合的需要。國外干泵市場的不斷增長,其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵。水噴射真空泵機組廠家直供
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