激光干涉儀以干涉技術為關鍵,其光波可直接對米進行定義。激光干涉儀可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據(jù);具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等;支持手動或自動進行環(huán)境補償。軟件強:友好的人機界面;豐富的應用功能模塊;向?qū)降牟僮髁鞒蹋缓啙嵒挠涗浌芾恚恢С种形摹⒂⑽暮投砦慕缑妫恢С制髽I(yè)專屬模板定制。激光干涉儀為數(shù)控機床的誤差修正提供可靠依據(jù),現(xiàn)場使用尤為方便。成都工業(yè)級激光干涉儀定制
激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應用已成為一大發(fā)展趨勢,其特點是測量精度快、反應速度快、易于數(shù)字化測量。在測量中設計一個精密導軌,將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測,從而形成對比,位移傳感器自動檢定系統(tǒng)與HP干涉儀對定位移進行測試對比,得出往復測試實驗結果。激光干涉儀除了可以用來測量長度以外,如果配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。鄭州機床誤差修正激光干涉儀安裝激光干涉儀有數(shù)控機床動態(tài)性能檢測的應用。
隨著高精度數(shù)控機床行業(yè)的快速發(fā)展,激光干涉儀在機床行業(yè)的使用越來越普遍,然而其在使用過程中對激光光路的準直調(diào)整卻一直是困擾廣大激光干涉儀用戶的一大問題,因為激光干涉儀在使用過程中光路準直調(diào)整占用了很大一部分時間。目前大多數(shù)生產(chǎn)企業(yè)的激光干涉儀操作人員的校準方法都是憑經(jīng)驗,來回反復調(diào)整,也有人提出“高處動尾部,低處動整體”的方法。其實后一種方法只是對前者的一種方法的經(jīng)驗總結,后一種方法是從整體上把握了調(diào)整的方向,可以讓操作人員少走彎路,但并未提出一種定量的調(diào)整方法,所以在光路大體調(diào)整好后,還是靠經(jīng)驗感覺反復進行進一步精調(diào),所以光路準直工作的效率還是亟待提高。
激光波長是高測量精度的基礎,然而激光的波長會受到空氣折射率的影響。數(shù)控機床維修是一項集計算機、自動控制、自動檢測和電機拖動等于一體的技術,需要數(shù)控機床維修人員掌握大量的專業(yè)知識和豐富的數(shù)控機床維修經(jīng)驗。因此,在日常數(shù)控機床維修中,如何盡快的找到故障原因并排除故障,提高設備完好率,是數(shù)控機床維修人員的首要任務。當出現(xiàn)機床精度異常、零件表面質(zhì)量變差等問題時,就需要借助一些先進的精度檢測儀器。激光干涉儀作為數(shù)控機床精度常用的檢測工具,能對數(shù)控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉軸分度精度等進行測量。激光干涉儀的環(huán)境條件補償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準確性對的測量精度有著重要的影響。
激光干涉儀初步調(diào)整后,固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過“整體”調(diào)整精確瞄準光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時透過“尾部”調(diào)整使激光對準反光鏡光靶,若在此過程中因“尾部”的調(diào)整導致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調(diào)整“整體”,再次對準反射鏡光靶。緊接著再升Z軸,繼續(xù)調(diào)整“尾部”,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復整個過程,往往幾次即可達到準直要求。激光干涉儀使用注意事項:儀器的光學零件在不用時,應在清潔干燥的器皿中進行存放,以防止發(fā)霉。深圳雷尼紹XL-80激光干涉儀
激光干涉儀有測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。成都工業(yè)級激光干涉儀定制
激光干涉儀:誤差影響精確度:大氣折射率。激光頻率穩(wěn)定性:在激光干涉儀中,將激光波長作為長度基準,激光頻率變化直接影響測量結果。余弦誤差:在測定三坐標測量機的定位誤差時,需仔細調(diào)整,使光束與滑座的運動方向平等。死程誤差:在零位時,激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差,這一段光程差稱為死程。死程的變化會引起測量誤差,死程誤差是激光干涉儀的一項重要誤差。細分誤差:在干涉條紋一個周期內(nèi)由插細分不均勻引起的誤差。成都工業(yè)級激光干涉儀定制