本發(fā)明具有以下有益的技術(shù)效果：本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管，通過(guò)適當(dāng)減小耗盡區(qū)寬度和減小擴(kuò)散區(qū)電阻率，耗盡區(qū)寬度減小導(dǎo)致響應(yīng)度的降低，本發(fā)明通過(guò)增加高反層使得光子在耗盡區(qū)中二次吸收來(lái)補(bǔ)償；高反層的形成使得器件保持對(duì)長(zhǎng)波響應(yīng)度的同時(shí)，降低響應(yīng)時(shí)間；由于擴(kuò)散區(qū)(耗盡區(qū)以外的區(qū)域)材料電阻率很低，擴(kuò)散區(qū)阻抗很小，因此擴(kuò)散時(shí)間很短；從而實(shí)現(xiàn)硅基光電二極管高響應(yīng)度與高響應(yīng)速度同時(shí)提升。本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管，由于通過(guò)低阻材料降低了擴(kuò)散區(qū)電阻，縮短了擴(kuò)散時(shí)間；而高反層的設(shè)置提高了長(zhǎng)波的吸收效率，降低了耗盡區(qū)的物理厚度，縮短了漂移時(shí)間，并且在其上開(kāi)孔減小了擴(kuò)散區(qū)的阻抗；襯底采用低電阻率材料，背面不用進(jìn)行減薄注入，直接背面金屬化形成背面電極，避免了加工過(guò)程中碎片的情況。附圖說(shuō)明圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)圖示意圖；圖2為本發(fā)明的等效電路示意圖；圖3為本發(fā)明的高反層原理示意圖；圖4為多孔結(jié)構(gòu)高反層的示意圖；圖5-1～圖5-7分別為本發(fā)明的逐層制備示意圖。圖6為本發(fā)明的硅基光電二極管的響應(yīng)度測(cè)試曲線；圖7為本發(fā)明的硅基光電二極管的頻率特性測(cè)試曲線。硅光電二極管哪家好？世華高好？肇慶進(jìn)口硅光電二極管特性

硅光二極管是一種基于硅材料的光電子器件，具有將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的功能。其工作原理基于光電效應(yīng)，當(dāng)光照射到硅光二極管的PN結(jié)上時(shí)，光子能量被硅原子吸收，導(dǎo)致PN結(jié)中的電子被激發(fā)出來(lái)，形成光電流。這種器件在光通信、光探測(cè)和光傳感等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用，是實(shí)現(xiàn)光電轉(zhuǎn)換的關(guān)鍵元件之一。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。中山光電硅光電二極管世華高硅光電二極管讓你體驗(yàn)許多功能。

提高硅基光電二極管響應(yīng)速度變得越來(lái)越迫切。高阻材料雖然可以提高響應(yīng)度，同時(shí)它也會(huì)引入三個(gè)方面的缺點(diǎn)：一是耗盡區(qū)寬度變寬，使得光生載流子漂移時(shí)間變長(zhǎng)，響應(yīng)速度變慢；二是耗盡區(qū)變寬，需要材料厚度相應(yīng)的變厚，而對(duì)于某些應(yīng)用場(chǎng)景，需要芯片厚度在150um左右，這種情況下，寬耗盡區(qū)并未帶來(lái)響應(yīng)度的明顯提升；三是由于材料為高阻材料，擴(kuò)散區(qū)電阻率太高，導(dǎo)致擴(kuò)散時(shí)間變長(zhǎng)，從而導(dǎo)致響應(yīng)速度變慢?？梢钥闯?，為了得到高響應(yīng)度，材料厚度需要做厚，電阻率選用高阻；為了得到高響應(yīng)速度。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展，世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu)，分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。材料厚度盡量薄，電阻率盡量低；這樣就很難實(shí)現(xiàn)兩者的兼顧。

硅光二極管的響應(yīng)時(shí)間也是其性能的重要指標(biāo)之一。在高速光通信系統(tǒng)中，需要選擇具有快速響應(yīng)時(shí)間的硅光二極管，以確保信號(hào)的準(zhǔn)確傳輸和處理。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，硅光二極管的響應(yīng)時(shí)間已經(jīng)越來(lái)越短，為高速光通信技術(shù)的發(fā)展提供了有力保障。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu)，分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。隨著生產(chǎn)規(guī)模的不斷擴(kuò)大和產(chǎn)品種類的豐富，公司的銷售業(yè)績(jī)穩(wěn)步提升。硅光電二極管方案商，一站式服務(wù)商世華高。

該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展，世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu)，分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。所述方法由以下步驟組成：1)以乙酸鋇、乙酸鍶和鈦酸四丁酯為原料，溶解于乙酸、乙醇和水的混合溶液中，加入質(zhì)量分?jǐn)?shù)為10-30％的聚乙烯吡絡(luò)烷酮，攪拌24h，得到紡絲溶液；2)采用靜電紡絲機(jī)制備sr摻雜batio3納米纖維薄膜電極：將步驟1所述紡絲溶液加入到10ml注射器中，設(shè)置一定的靜電紡絲工藝參數(shù)，在固定于滾筒上的fto玻璃上接收固化的復(fù)合纖維，150℃烘箱中干燥過(guò)夜，烘干后置于馬弗爐中煅燒一定時(shí)間，熱分解后即可獲得sr摻雜batio3薄膜電極；3)采用水熱法制備sr摻雜batio3/znte光電極：配制一定濃度的硝酸鋅、碲酸鈉和硼氫化鈉的混合水溶解，攪拌均勻，后轉(zhuǎn)入50ml水熱反應(yīng)釜中；將步驟2所述sr摻雜batio3薄膜電極放入反應(yīng)釜內(nèi)，fto導(dǎo)電面朝下，密封后置于恒溫干燥箱中水熱反應(yīng)一定時(shí)間。世華高硅光電二極管讓你體驗(yàn)許多智能化功能！天津?yàn)I松硅光電二極管特性

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其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展，世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu)，分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。因此擴(kuò)散時(shí)間很短；從而實(shí)現(xiàn)硅基光電二極管高響應(yīng)度與高響應(yīng)速度同時(shí)提升。該結(jié)構(gòu)中，襯底材料107不用進(jìn)行背面處理，直接與金屬形成良好的歐姆接觸；外延層厚度取決于耗盡區(qū)寬度。進(jìn)一步的，所述外延層101的電阻率為500～1000ohm·cm，外延層101厚度wepi根據(jù)耗盡區(qū)寬度wd確定：wepi≈wd，而wd≥w入/2，其中w入＝f(λ)，w入為入射光入射深度，λ為入射光波長(zhǎng)；所述的高反層109由折射率～～；高反層109上開(kāi)設(shè)的刻蝕孔為矩陣排列的圓形孔，或者為同心環(huán)形孔。所述的刻蝕孔為均勻分布的圓形孔時(shí)，孔直徑為10～50um，孔間距為15～50um，圓形孔的總面積為結(jié)面積的1/2；所述的刻蝕孔為同心環(huán)形孔時(shí)，同心環(huán)中心與正面金屬電極106的中心重合，同心環(huán)中心為刻蝕區(qū)，相鄰環(huán)間距5～20um。具體的，高反層109可以為多孔結(jié)構(gòu)，可采用矩陣排列(比如采用正方形陣列排列)。肇慶進(jìn)口硅光電二極管特性