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圖1為本發明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結構示意圖；圖2為本發明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖；圖3為本發明實施例提供的一種磁轉子的結構示意圖；圖4為本發明實施例提供一種磁轉子的旋轉方式的示意圖；圖5為本發明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發明的思想，為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬...

即兩所述側板422之間設置有一排所述固定板423，從而形成對應設置有所述側支撐件44的所述豎直平板421，在各所述放置部內放置有一排玻璃，可實現所述放置部結構的小型化，便于在同一所述玻璃加工治具4上設置若干所述放置部以使各所述放置部對應不同尺寸的玻璃。圖4為所述調節槽的另一種實施方式，所述調節槽包括若干所述水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的所述豎直槽425，所述固定槽426設置于所述水平槽424的下邊緣；兩所述豎直平板421均設置有所述側支撐件44，同一所述水平槽424可設置兩個所述固定卡塊427，即兩所述側板422之間設置有兩排所述固定板423，兩所述固定板423分別對...

將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地，將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠，如az4620光刻膠，然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠，如az4620光刻膠，之后，將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上，將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強于待加工部件上進行鍵合，鍵合時間20min。s102：通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對待加工表面進行拋光；s103：通過磁轉子旋轉對待加工表面進行機械研磨，來對待加工表面進行減薄。可選地，本發明實施例中，s102和s103可以交替進行，...

實現玻璃與噴淋液充分均勻接觸的同時，控制玻璃的擺動幅度，提高玻璃在減薄過程中的安全性。實施例六所述主厚度測量儀32與所述蝕刻區3的內壁相鄰，并且具有滑動結構以移動到豎直容納在所述玻璃加工治具4內的玻璃之中的靠外玻璃附近，從而便于對玻璃厚度進行檢測；具體的，在所述控制器的控制下，所述主厚度測量儀32通過向玻璃發射激光束來實時測量玻璃厚度并且在玻璃正經歷滑動處理的同時將關于測得厚度的信息發送到所述控制器；所述控制器實時將預設的目標厚度與從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度進行比較。如果確定從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度達到目標厚度，則所述控制器停止減薄處理等操作，并且將所述玻...

7保質期24主營產品：工業清洗劑空調清洗劑水處理藥劑除銹除油劑￥所在地：四川眉山在線詢價供應鋁材防氧劑、銅保護劑、銅清洗劑產品名稱銅保護劑品牌FABLE/福邦系列36是否危險化學品否是否進口否主營產品：工業潤滑油自行車潤滑油鐘表加工潤滑油防水油食品級油格林潤滑科技（惠州）有限公司所在地：廣東惠州在線詢價KRB-206環保鋁、銅清洗劑鋁制品清洗劑強除油無腐蝕不變色類別堿性清洗液型號KRB-206主要用途金屬表面除油脫脂執行標準國標企標CAS略主營產品：切削液除銹劑防銹油防銹劑清洗劑除油粉中性除油除銹劑￥武漢科瑞博科技有限公司所在地：湖北武漢在線詢價生產廠家提供銅及其合金高效清洗劑1分鐘快...

較佳的，所述沖洗區包括沖洗區、第二沖洗區和第三沖洗區，所述第二沖洗區設置于所述沖洗區和所述第三沖洗區之間，所述沖洗區設置于所述第二沖洗區和所述轉換區之間，所述第三沖洗區設置于所述第二沖洗區和所述蝕刻區之間。較佳的，所述沖洗區設置有輔助厚度測量儀。較佳的，所述第三沖洗區設置有第二輔助厚度測量儀。較佳的，所述轉換區設置為可升降的折疊式結構。較佳的，所述轉換區設置有裝卸臂。與現有技術比較本發明的有益效果在于：1，本發明中所述玻璃減薄生產線采用噴淋減薄的方式對豎直容納在玻璃加工治具中的玻璃進行減薄處理，可實現單次多片玻璃減薄，同時避免浸泡式減薄法中反應產物粘附在玻璃上造成不良品的問題；2，本發...

若干所述側支撐件44固定設置在所述固定板423的端面上；所述固定板423兩端均設置有至少兩個固定卡塊427，所述固定卡塊427一般設置為矩形橫截面結構，便于所述固定板423端面的朝向定位；對應的，所述調節槽內設置有固定槽426，當所述固定板423兩端各自的兩所述固定卡塊427分別設置于對應的所述固定槽426內時，設置有所述側支撐件44的端面對應所述豎直平板421上的所述側支撐件44，且設置所述側支撐件44的所述豎直平板421和所述固定板423設置在所述底支撐件43的兩側，從而實現對所述盛放部內玻璃的支撐限位。其中，如圖3所示，所述側板422上所述調節槽的一種實施方式為，所述調節槽包括若...

產品名稱：LCD清洗劑光學鏡片清洗劑芯片模塊清洗劑產品鏈接：/zhizhangtianjiaji-qingxiji/手機版鏈接：，包括各種電子元器件、CCD和CMOS圖像感應芯片及模塊、半導體生產裝置零件和腔體、醫療設備零部件、LCD/OLED顯示器、光學件、鏡片、精密加工零部件等。由于HFEs清洗劑與HCFC-141b性能接近，使用氫氟醚清洗劑進行替代的一個好處是可直接使用原有設備和工藝，無須增加太多的投資，對生產的擾動也較小。但目前我國市場上的HFEs清洗劑幾乎均為進口，價格相對較高。目前主要用于高附加值零件的清洗和一些特殊要求的清洗場合?？蓮囊韵聝蓚€方面著手，提高HFEs清洗劑使...

本發明提供如下技術方案：一種拋光減薄裝置，包括：托盤，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圓；噴頭，用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，以對所述待加工表面進行拋光；磁轉子，放置在所述待加工部件的待加工表面上，用于通過旋轉對所述待加工表面進行機械研磨，對所述待加工表面進行減薄。可選地，還包括控制部件；所述控制部件與所述磁轉子和所述噴頭相連，用于控制所述噴頭和所述磁轉子交替工作，以對所述待加工表面交替進行拋光和減薄?？蛇x地，所述磁轉子包括截面為半圓形的柱狀磁性結構和位于所述磁性結構底部的研磨層，以通過所述研磨層對所述待加工表面進行機械研磨?？蛇x地，所述研磨層為金屬氧化物...

所述控制器用于控制減薄處理過程，具體的，在所述玻璃加工治具4從所述沖洗區2移動至所述腔室31內合適位置時打開所述噴淋組件33進行減薄處理操作，并在由所述主厚度測量儀32測得的玻璃厚度達到目標厚度時關閉所述噴淋組件33停止對玻璃進行的減薄處理，以及在減薄完成后控制所述玻璃加工治具4再次向所述沖洗區2移動。所述控制器在噴淋減薄過程中控制所述玻璃加工治具4在所述腔室31內的往復移動。一般的，所述噴淋組件33包括設置于所述腔室31頂部的噴淋頭、設置于所述腔室31底部的收集槽、以及與所述噴淋頭、所述收集槽均連通的外部噴淋液管路，通過所述噴淋頭對所述玻璃加工治具4上的玻璃噴淋噴淋液從而實現玻璃的減...

磁轉子12放置在待加工部件20的待加工表面上，用于通過旋轉對待加工部件20的待加工表面進行機械研磨，對待加工表面進行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉，因此，可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應力，降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷?？蛇x地，本發明實施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當然，本發明并不限于此，在其他實施例中，待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進行鍵合固定。基于此，如圖2所示，本發明實施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14，該熱板14設置在托盤10底部，用于對托盤10進行加熱，以使待加工部件20...

免責聲明本網頁所展示的有關【RO清洗劑/納爾科清洗劑/OSM711清洗劑_清潔劑/清洗劑_深圳市華昊水處理技術有限公司】的信息/圖片/參數等由智慧環衛網的會員【深圳市華昊水處理技術有限公司】提供，由智慧環衛網會員【深圳市華昊水處理技術有限公司】自行對信息/圖片/參數等的真實性、準確性和合法性負責，本平臺（本網站）提供展示服務，請謹慎交易，因交易而產生的法律關系及法律由您自行協商解決，本平臺（本網站）對此不承擔任何責任。您在本網頁可以瀏覽【RO清洗劑/納爾科清洗劑/OSM711清洗劑_清潔劑/清洗劑_深圳市華昊水處理技術有限公司】有關的信息/圖片/價格等及提供【RO清洗劑/納爾科清洗劑/...

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所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區3內作往復移動，所述主厚度測量儀32測量玻璃厚度并且將關于測得厚度的信息實時發送到所述控制器；當測得玻璃厚度達到預設目標厚度時，所述控制器停止在所述蝕刻區3中噴射噴淋液的減薄處理，并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區2移動。一般的，在所述腔室31內，減薄處理的具體工藝參數為：所述玻璃加工治具4的往復運動中單程單向時間設置為～4s，來回往復一次時間設置為3s～8s，往復移動幅度設置約為180mm左右；所述噴淋系統控制的噴淋液流量設置為1500lpm～2400lpm，在所述腔室31內的酸蝕溫度一般設置為20℃～40℃；在上述參數下，玻璃的酸蝕速...

LCD清洗劑光學鏡片清洗劑芯片模塊清洗劑清洗劑的清洗對象，包括各種電子元器件、CCD和CMOS圖像感應芯片及模塊、半導體生產裝置零件和腔體、醫療設備零部件、LCD/OLED顯示器、光學件、鏡片、精密加工零部件等。由于HFEs清洗劑與HCFC-141b性能接近，使用氫氟醚清洗劑進行替代的一個好處是可直接使用原有設備和工藝，無須增加太多的投資，對生產的擾動也較小。但目前我國市場上的HFEs清洗劑幾乎均為進口，價格相對較高。目前主要用于高附加值零件的清洗和一些特殊要求的清洗場合?？蓮囊韵聝蓚€方面著手，提高HFEs清洗劑使用的經濟性。一是通過完善清洗工藝加強對HFEs清洗劑的蒸餾回收和再生，提...

月)1品牌祺度主營產品：銅光亮清洗劑鋁合金清洗劑金屬表面處理劑清洗劑設備￥寧波祺度環保科技有限公司所在地：浙江寧波在線詢價銅超聲波清洗劑經濟耐用有效去污精密清洗多美多廠家直銷產品名稱銅超聲波清洗劑品牌多美多系列銅超聲波清洗劑是否危險化學品否是否進口否產地廣州主營產品：化學原料化學制品制造業￥廣州市多美多新材料有限公司所在地：廣東廣州在線詢價東莞鑫陽環保牌金屬清洗劑廠家品牌鑫陽環保系列XY58分類金屬清洗劑功能清洗劑用途范圍產品貨號XY58主營產品：除垢劑殺菌滅藻劑不銹鋼清洗劑環保水基清洗劑￥東莞市鑫陽水處理科技有限公司所在地：廣東東莞在線詢價銅清洗劑環保洗銅水銅金屬表面油污處理劑，深圳...

用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于激光束的預定部分并因此瞬時去除噴淋液，從而可得到更準確地玻璃厚度測量數據。一般的，所述目標厚度為減薄處理后所需求玻璃的理論厚度值，所述理論厚度值為具有公差的范圍值。所述玻璃減薄生產線還包括輔助厚度測量儀，所述輔助厚度測量儀設置在所述沖洗區2中并用于再次測量經減薄處理后的玻璃厚度，所述輔助厚度測量儀將測得玻璃厚度發送到所述控制器。所述輔助厚度測量儀的設置可降低所述主厚度測量儀32失靈或因所述蝕刻區3中的阻礙因素不能正確測量玻璃厚度時異常操作而造成的玻璃減薄缺陷，所述阻礙因素可以為噴淋液的噴淋阻礙或所述玻璃加工治具4的振動。所述控制器基于所述輔助厚度測量儀測...

所述控制器進行第二次減薄厚度確認操作；具體的，通過設置于所述第三沖洗區2的第二輔助厚度測量儀進行厚度檢測，從而實現所述減薄厚度確認操作，當所述減薄厚度未達到目標厚度時，所述玻璃加工治具4可再次進入所述蝕刻區3內進行減薄處理。所述主厚度測量儀32設置在其中對玻璃施加減薄處理的所述蝕刻區3中并且實時測量玻璃厚度，使得玻璃可更準確地具有目標厚度；所述輔助厚度測量儀設置在所述沖洗區2中，并且再次測量經歷過減薄處理的玻璃的厚度，因此可以檢查設置在所述蝕刻區3中的所述主厚度測量儀32是否無法正確工作，并且使減薄玻璃的缺陷率降至；且所述輔助厚度測量儀可提前測量待經歷減薄處理的玻璃的厚度，因此可以檢查...

本發明涉及半導體制造技術領域，更具體地說，涉及一種拋光減薄裝置和拋光減薄方法。背景技術：采用iii-v族化合物制作的半導體器件和超高速數字/數模混合電路等憑借其優良的頻率特性，已經成為通訊、雷達、制導、空間防御、高速智能化武器及電子對抗等現代化裝備的部件之一。在眾多的iii-v族化合物中，inp(磷化銦)化合物具有獨特的優勢，這主要得益于其優良的材料特性，例如，inp和ingaas(銦鎵砷)之間的晶格失配很小，以及電子飽和速率很高等，所以不論是hemt(highelectronmobilitytransistor，高電子遷移率晶體管)結構還是hbt(heterojunctionbipo...

即兩所述側板422之間設置有一排所述固定板423，從而形成對應設置有所述側支撐件44的所述豎直平板421，在各所述放置部內放置有一排玻璃，可實現所述放置部結構的小型化，便于在同一所述玻璃加工治具4上設置若干所述放置部以使各所述放置部對應不同尺寸的玻璃。圖4為所述調節槽的另一種實施方式，所述調節槽包括若干所述水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的所述豎直槽425，所述固定槽426設置于所述水平槽424的下邊緣；兩所述豎直平板421均設置有所述側支撐件44，同一所述水平槽424可設置兩個所述固定卡塊427，即兩所述側板422之間設置有兩排所述固定板423，兩所述固定板423分別對...

故所述控制器在從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃厚度超出目標厚度的公差范圍時，可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區3，并且控制玻璃在所述蝕刻區3中再次經歷減薄處理，以將玻璃處理為目標厚度。同時通過所述輔助厚度測量儀提前測量待經歷減薄處理的玻璃厚度，可與所述主厚度測量儀32檢測的初始厚度作對比，可判斷所述主厚度測量儀32是否失靈，從而在后期根據所述輔助厚度測量儀的檢測數據判斷是否需再次進入所述腔室31。具體的，當所述輔助厚度測量儀檢測厚度與所述主厚度測量儀32檢測的初始檢測厚度不在公差范圍之內，可判斷所述主厚度測量儀32失靈；在當后期減薄后所述輔助厚度測量儀的檢測厚度不符合目標厚度時，...

月）主營產品：金屬清洗劑電氣設帶電清洗劑除銹劑除垢劑￥成都市凱亞環保科技有限公司所在地：四川成都在線詢價紫銅表面怎樣處理不變色銅制品表面如何防止氧化凈徹銅清洗劑分類銅清洗劑型號JC-030品牌凈徹香型無味PH值7-9保質期24主營產品：強力油污清洗劑殺菌滅藻劑除垢除銹劑管道預膜劑￥東莞市凈徹清洗劑科技有限公司所在地：廣東東莞在線詢價洋白銅清洗劑銅水基清洗劑銅合金清洗劑工業清洗劑類別中性清洗液型號HY-2260主要用途沖壓油、模具油污、粉塵、手汗、有機物等污垢的清洗執行標準國標CAS無主營產品：等離子拋光機等離子拋光鹽混凝土脫模劑建筑模板脫模劑￥深圳華億科技有限公司所在地：廣東深圳在線詢...

SSGS主營產品：金屬表面處理劑銅鋁清洗劑發黑劑發亮劑￥溫州奧洋金屬表面處理有限公司所在地：浙江溫州在線詢價xF-502環保型銅氧化清洗劑黃銅清洗劑紫銅清洗劑銅氧化黑斑清洗液是否進口否類別酸性清洗液型號xF-502品牌旭峰主要用途采用浸泡或超聲波的清洗方式，能夠快速將銅表面氧化黑斑清洗干凈，經本品處理后的銅件表面也可得到光亮如新執行標準HF主營產品：金屬清洗防變色劑除油劑、拋光劑脫脂劑、磷化液光亮劑、發黑劑常州旭峰環保科技有限公司所在地：江蘇常州在線詢價銅合金超聲波清洗劑、銅超聲波除油劑是否進口否產地寧波類別中性清洗液型號CY-21品牌昌源產品名稱銅合金超聲波清洗劑主營產品：銅除油脫脂...

產生不良次品；同時由于所述側支撐件44的移動，可帶動玻璃在所述玻璃加工治具4上的擺動，從而實現玻璃與噴淋液的充分均勻接觸。較佳的，所述底座41和實施支撐架42上均設置有若干流通孔，所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述噴淋液流至所述收集槽內。實施例四所述支撐架42包括對應設置的架體和第二架體，所述架體和所述第二架體均固定設置在所述底座41上，所述架體包括平行對應設置的兩豎直平板421，所述第二架體為與所述豎直平板421連接的對應兩側板422，所述架體和所述第二架體形成盛放部，玻璃設置在所述盛放部內；所述側板422和所述豎直平板421可均固定設置于所述底座41上，也可相互固定連接形成穩...

產生不良次品；同時由于所述側支撐件44的移動，可帶動玻璃在所述玻璃加工治具4上的擺動，從而實現玻璃與噴淋液的充分均勻接觸。較佳的，所述底座41和實施支撐架42上均設置有若干流通孔，所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述噴淋液流至所述收集槽內。實施例四所述支撐架42包括對應設置的架體和第二架體，所述架體和所述第二架體均固定設置在所述底座41上，所述架體包括平行對應設置的兩豎直平板421，所述第二架體為與所述豎直平板421連接的對應兩側板422，所述架體和所述第二架體形成盛放部，玻璃設置在所述盛放部內；所述側板422和所述豎直平板421可均固定設置于所述底座41上，也可相互固定連接形成穩...

可有效穩定所述固定板423的豎直放置位置。同時，值得指出的時，所述豎直平板421上所述側支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式，具體的，所述豎直平板421上設置有若干豎槽，所述豎槽單側豎直有若干定槽，對應所述定槽設置有帶有固定塊的安裝板，所述安裝板對應所述豎槽的側邊設置有至少2個所述固定塊，所述安裝板遠離所述豎槽的側邊設置有所述側支撐件44，通過將所述固定塊分別設置于所述定槽內，從而實現所述側支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側板422上的所述側支撐件44的設置，從而實現對所述玻璃加工治具4上玻璃的側邊位置固定，同時，通過所述側板422上所述調節槽的...

SSGS主營產品：金屬表面處理劑銅鋁清洗劑發黑劑發亮劑￥溫州奧洋金屬表面處理有限公司所在地：浙江溫州在線詢價xF-502環保型銅氧化清洗劑黃銅清洗劑紫銅清洗劑銅氧化黑斑清洗液是否進口否類別酸性清洗液型號xF-502品牌旭峰主要用途采用浸泡或超聲波的清洗方式，能夠快速將銅表面氧化黑斑清洗干凈，經本品處理后的銅件表面也可得到光亮如新執行標準HF主營產品：金屬清洗防變色劑除油劑、拋光劑脫脂劑、磷化液光亮劑、發黑劑常州旭峰環保科技有限公司所在地：江蘇常州在線詢價銅合金超聲波清洗劑、銅超聲波除油劑是否進口否產地寧波類別中性清洗液型號CY-21品牌昌源產品名稱銅合金超聲波清洗劑主營產品：銅除油脫脂...

所述控制器進行第二次減薄厚度確認操作；具體的，通過設置于所述第三沖洗區2的第二輔助厚度測量儀進行厚度檢測，從而實現所述減薄厚度確認操作，當所述減薄厚度未達到目標厚度時，所述玻璃加工治具4可再次進入所述蝕刻區3內進行減薄處理。所述主厚度測量儀32設置在其中對玻璃施加減薄處理的所述蝕刻區3中并且實時測量玻璃厚度，使得玻璃可更準確地具有目標厚度；所述輔助厚度測量儀設置在所述沖洗區2中，并且再次測量經歷過減薄處理的玻璃的厚度，因此可以檢查設置在所述蝕刻區3中的所述主厚度測量儀32是否無法正確工作，并且使減薄玻璃的缺陷率降至；且所述輔助厚度測量儀可提前測量待經歷減薄處理的玻璃的厚度，因此可以檢查...

即兩所述側板422之間設置有一排所述固定板423，從而形成對應設置有所述側支撐件44的所述豎直平板421，在各所述放置部內放置有一排玻璃，可實現所述放置部結構的小型化，便于在同一所述玻璃加工治具4上設置若干所述放置部以使各所述放置部對應不同尺寸的玻璃。圖4為所述調節槽的另一種實施方式，所述調節槽包括若干所述水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的所述豎直槽425，所述固定槽426設置于所述水平槽424的下邊緣；兩所述豎直平板421均設置有所述側支撐件44，同一所述水平槽424可設置兩個所述固定卡塊427，即兩所述側板422之間設置有兩排所述固定板423，兩所述固定板423分別對...

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