(1)接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數的交流放大器，不用直流放大，故沒有零點漂移等問題。(2)利用多普勒效應，計數器計頻率差的變化，不受激光強度和磁場變化的影響。在光強度衰減90%時仍可得到滿意的信號，這對于遠距離測量是十分重要的，同時在近距離測量時又能簡化調整工作。(3)測量精度不受空氣湍流的影響，無需預熱時間。用激光干涉儀作為機床的測量系統可以提高機床的精度和效率。起初*用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上，以后又用于加工中心的定位系統中。光程傳播：參考光束和測量光束分別經過不同的路徑，可能會經過被測物體或介質。虎丘區耐用雙頻激光干涉儀量大從優

激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設計的光學精密計量儀器，主要用于檢測光學元件表面面形精度和光學材料的均勻性 [1] [3-4]。該設備測量精度可達到1/10-1/100波長量級，采用半導體激光器（635nm）作為光源，具有防塵效果好、結構緊湊等特點，適用于光學車間、實驗室等場景的批量檢測 [3-4]。上海乾曜光學科技有限公司與北京海富達科技有限公司均具備相關生產能力，其中G150M、G200M及60-LP等型號產品采用標準化測量口徑設計，可滿足不同使用場景需求 [2-4]。截至2025年，相關企業產品已服務國內外科研院所及工業企業 [2]。虎丘區耐用雙頻激光干涉儀量大從優雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。

基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設計，通過對比被測平面與標準參照鏡的干涉條紋變化，實現光學元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測量 [1] [3-4]。標準參照鏡面形精度通常達到p-v:λ/20 [3-4]。測量口徑：Φ60mm（典型型號） [3-4]對準方式：兩點對準系統 [3-4]結構特性：小型化設計、防塵性能優異 [3-4]精度范圍：根據型號不同覆蓋1/10-1/100波長梯度 [11.光學制造：檢測平面鏡、棱鏡等光學元件表面面型2.質量檢測：評估光學材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實驗：實驗室環境下進行精密光學計量分析

8、激光干涉儀的光源——激光，具有**度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。2、在移動儀器時，為防止導軌變形，應托住底座再進行移動。3、儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。雙頻激光干涉儀的發明使激光干涉儀擺脫了計量室的束縛，更為廣泛的應用于工業生產和科學研究中。

工程測量：用于高精度的長度測量和地形測量。波譜分析：用于分析光譜的精細結構和超精細結構。量子物理實驗：用于研究量子光學、原子物理學等領域的物理現象。五、發展歷史與現狀19世紀的波動論者認為光波或電磁波必須在彈性介質中才得以傳播，這種假想的彈性介質稱為以太。人們做了一系列實驗來驗證以太的存在并探求其屬性，以干涉原理為基礎的實驗**為精確，其中**有名的是菲佐實驗和邁克耳孫-莫雷實驗。隨著激光器的發展，干涉儀開始使用激光作為光源，提高了測量的精度和穩定性。到了20世紀70年代以后，隨著計算機技術的發展，將激光干涉儀和電子計算機綜合起來的許多新的干涉儀，可以實現實時測量。目前，干涉儀已經成為一種重要的精密測量工具，在各個領域發揮著重要作用。邁克爾遜干涉儀：由阿爾伯特·邁克爾遜發明，主要用于測量光的波長、干涉條紋的變化等。常熟通用雙頻激光干涉儀產品介紹

高精度：雙頻激光干涉儀能夠實現亞納米級別的測量精度，適用于微小位移的檢測。虎丘區耐用雙頻激光干涉儀量大從優

反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2，它們經反射后回到G1（左）的半透半反射膜處，再分別經過透射和反射后，來到觀察區域E。G2（右）為補償板，它與G1為相同材料，有相同的厚度，且平行安裝，目的是要使參加干涉的兩光束經過玻璃板的次數相等，兩束光在到達觀察區域E時沒有因玻璃介質而引入額外的光程差。當M2和M1'嚴格平行時，表現為等傾干涉的圓環形條紋，移動M2時,會不斷從干涉的圓環中心“吐出”或向中心“吞進”圓環。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時，中心就會“吐出”一個個條紋；反之則“吞進”。M2和M1'不嚴格平行時，則表現為等厚干涉條紋，移動M2時，條紋不斷移過視場中某一標記位置，M2平移距離 d 與條紋移動數 N 的關系滿足：d=Nλ/2，λ為入射光波長。虎丘區耐用雙頻激光干涉儀量大從優

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