氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了普遍應用。氦檢儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。氦檢儀為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。金華移動式氦質譜檢漏儀廠家

氦質譜檢漏儀的日常維護：1.定期檢查機械泵的油位，如不足足應及時添加；如果機械泵的油是棕色、褐色或聞起來有糊狀的味道，這意味著油已經惡化了。此時，應釋放泵中的油，必要時，先用新油沖洗，然后注入新油。2.定期清洗或更換機械泵的排氣管。如果排氣管中有大量油滴，可以從氦質譜泄漏檢測器中取出，然后清洗，然后用熱風吹干或自然晾干。使用氦質譜檢漏儀常用的方法大體可分為三種，即噴氦法（負壓法），正壓法，氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言，噴氦法的靈敏度高些。但是當檢漏儀安裝在大型的、比較復雜的壓力容器裝置上時，也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。杭州模塊式氦質譜檢漏儀價錢氦質譜檢漏儀的質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的要定期保養維護。

氦質譜檢漏儀的的故障和處理：1、內部的泄漏，當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。2、本底信號不穩定，1）本底信號過高有可能是環境本底被污染，注意檢查室內是否有氦氣源在泄漏。將室內的門窗打開通風，降低環境本底。2）本底信號過高也有可能是因為質譜室被污染。檢漏儀若經常檢測含有油污、粉塵等雜質較多的被檢件時，質譜室極易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩定，檢查電源電壓是否穩定，氦質譜檢漏儀應有可靠的接地。

氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩定，電壓過高會燒壞電源，嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應連接穩壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動氦檢儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。③氦檢儀應按照說明書的要求定期進行保養，保養的項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。④氦檢儀在運行了2000h后應對前級泵進行維修和保養，運行7000h分子泵進行維護和保養。氦質譜檢漏儀在運行過程中不能移動。

氦質譜檢漏儀原理：氦質譜檢漏儀是基于質譜法原理，以氦氣作為檢漏的儀器。質譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統和電氣部分組成。質譜法室中燈絲發射的電子在室內來回振蕩，與室內氣體碰撞，氦氣泄漏進入室內，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進入人體磁場，當洛倫茲力效應偏轉時，電弧形成，加速電壓的變化使不同質量的離子通過磁場和接收槽到達接收極而被探測到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質譜檢漏儀正朝著高靈敏度、便攜式、自動化、寬量程、無油系統等先進方向發展。氦檢儀應用于調節閥氣路管道檢漏。杭州多功能氦質譜檢漏儀品牌推薦

為防止油污、粉塵和雜物進入氦質譜檢漏儀，應在氦質譜檢漏儀下方設置過濾器。金華移動式氦質譜檢漏儀廠家

氦質譜檢漏儀是根據質譜儀學原理，用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測儀器。氦質譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應安裝在符合儀器使用的環境要求的場所，特別是儀器的電源插座，應符合要求，要有良好的地線，左右要留有30CM的通風間距。放置好氦質譜檢漏儀，以避免儀器有傾斜或傾倒的危險。氦質譜檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運行前要確保真空泵中的機械泵油是否足夠，機械泵油必須用特定的針對機械泵型號的油。金華移動式氦質譜檢漏儀廠家