光刻膠的去除在IC制造工藝流程中占非常重要的地位，其成本約占IC制造工藝的20-30%，光刻膠去膠效果太弱影響生產效率，去膠效果太強容易造成基底損傷，影響整個產品的成品率。傳統(tǒng)主流去膠方法采用濕法去膠，成本低效率高，但隨著技術不斷選代更新，越來越多IC制造商開始采用干法式去膠，干法式去膠工藝不同于傳統(tǒng)的濕法式去膠工藝，它不需要浸泡化學溶劑，也不用烘干，去膠過程更容易控制，避免過多算上基底，提高產品成品率。干法式去膠又被稱為等離子去膠，其原理同等離子清洗類似，主要通過氧原子核和光刻膠在等離子體環(huán)境中發(fā)生反應來去除光刻膠，由于光刻膠的基本成分是碳氫有機物，在射頻或微波作用下，氧氣電離成氧原子并與光刻膠發(fā)生化學反應，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通過泵被真空抽走，完成光刻膠的去除。等離子物理去膠過程:主要是物理作用對清洗物件進行轟擊達到去膠的目的，主要的氣體為氧氣、氬氣等，通過射頻產生氧離子，轟擊清洗物件，以獲得表面光滑的較大化，并且結果是親水性增大。在光伏電池制程中，等離子表面處理可用于玻璃基板表面活化，陽極表面改性，涂保護膜前處理等。上海plasma等離子清洗機用途

等離子清洗機，作為現面處理技術中的佼佼者，其基本原理基于等離子體物理學。等離子體，作為物質的第四態(tài)，由高度電離的氣體組成，其中包含了大量的電子、離子、自由基及中性粒子等活性成分。在等離子清洗機中，通過特定的放電方式（如射頻放電、微波放電或直流放電等），將工作氣體（如氬氣、氧氣、氮氣或混合氣體）激發(fā)成等離子體狀態(tài)。這些高能活性粒子在電場作用下，加速撞擊待處理物體的表面，與表面污染物發(fā)生物理化學反應，如剝離、氧化、還原、刻蝕等，從而實現表面清潔與改性的目的。等離子清洗機因其非接觸式、無化學殘留、環(huán)境友好、清洗效果明顯且可處理復雜形狀工件等優(yōu)點，被廣泛應用于半導體制造、精密機械、航空航天、生物醫(yī)藥等多個領域，成為現代工業(yè)中不可或缺的表面處理設備。浙江sindin等離子清洗機生產廠家等離子清洗機處理后的時效性會因處理時間、氣體反應類型、處理功率大小以及材料材質的不同而有所差異。

等離子清洗機應用領域1.汽車行業(yè)：點火線圈骨架表面活化、汽車門窗密封件的處理、控制面板在粘合前處理、內飾皮革包裹、內飾植絨前處理等等；2.醫(yī)療行業(yè)：培養(yǎng)皿表面活化、醫(yī)療導管粘接前處理、輸液器粘接前的處理、酶標板的表面活化等等；3.新能源行業(yè)：新能源電池電芯的表面處理、電池藍膜的表面處理、電池表面粘接前的處理等等；4.電子行業(yè)：芯片表面處理、封裝前的預處理、各類電子器件粘接前處理、支架及基板的表面處理等等；等離子清洗機設計的行業(yè)非常的大，在用戶遇到，表面粘接力、親水性、印刷困難、涂覆不均勻等等問題，都可以嘗試等離子清洗機的表面處理，通過表面活化、改性的方式解決問題。

在電子電路行業(yè)中，PCB作為電子產品的主要部件，其表面粘附性對產品的性能有著直接影響。通過等離子處理，可以提高錫膏與PCB之間的粘附力。有助于確保錫膏印刷的均勻性和穩(wěn)定性，提高電子產品的可靠性和穩(wěn)定性。在PCBA涂敷三防漆前處理中，等離子技術也發(fā)揮著關鍵作用。三防漆是一種具有防潮、防塵和防霉功能的涂料，廣泛應用于電子設備的保護。通過真空等離子處理，可以提高線路板表面潤濕性能，有效去除表面有機污染物，增強線路板表面貼合力，提升三防漆涂覆質量。攝像頭模組需在DB前、WB前、HM前、封裝前進行真空等離子清洗，活化材料表面，提高親水性和黏附性能。

等離子清洗機通過使用物理或化學方法，可以有效地清潔、活化或改性材料表面。對于陶瓷基板，等離子清洗的主要作用是去除表面的污垢、氧化物、層間介質等雜質，同時通過活化表面，提高其潤濕性和粘合性。陶瓷基板處理后的主要優(yōu)勢：1.提高附著力：通過等離子清洗，陶瓷基板的表面可以得到明顯改善，其粗糙度和清潔度均提高。這不僅可以提高基板與涂層或貼片的附著力，還能有效防止由于附著力不足導致的涂層脫落或翹曲等問題。2.增強潤濕性：等離子清洗處理能夠提高陶瓷基板的表面潤濕性。對于需要液態(tài)材料覆蓋或浸潤的場合，如封接、焊接等，這種改善將極大地提高生產效率和良品率。3.改性表面：等離子清洗還可以對陶瓷基板表面進行改性。例如，通過引入特定的官能團或改變表面的化學組成，可以提高基板的耐腐蝕性、耐磨性等關鍵性能。全自動等離子表面處理機結合了自動化優(yōu)勢，可以搭載生產線進行工作，帶來穩(wěn)定持續(xù)的處理效果。安徽sindin等離子清洗機技術參數

等離子清洗機對所處理的材料無嚴格要求，無論是金屬、半導體、氧化物，都能進行良好的處理。上海plasma等離子清洗機用途

等離子表面處理機是一種廣泛應用于電子、航空、汽車、醫(yī)療器械等領域的設備，它通過等離子體技術對材料表面進行處理，以改善材料的表面性能，提高其穩(wěn)定性和使用壽命。工作原理：等離子表面處理機的工作原理是將材料放置于真空室內，在低壓環(huán)境下放入工藝氣體，通過放電等離子體技術對材料表面進行處理。在放電過程中，氣體分子被電離成帶電的離子和自由電子，這些離子和電子在電場的作用下以高速度移動，并與材料表面發(fā)生反應，從而改善其表面性能。等離子表面處理技術具有許多優(yōu)點。首先，它可以改善材料的表面性能，提高其粘接、邦定、封膠等工藝品質。其次，等離子表面處理技術可以保障處理面效果均勻，從而提高材料的表面質量和一致性。此外，與傳統(tǒng)的表面處理方法相比，等離子表面處理技術具有更低的成本，從而降低了生產成本。上海plasma等離子清洗機用途