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EVG ® 720自動SmartNIL
® UV納米壓印光刻系統(tǒng)
自動全視野的UV納米壓印溶液達150毫米,設(shè)有EVG's專有SmartNIL ®技術(shù)
EVG720系統(tǒng)利用EVG的創(chuàng)新SmartNIL技術(shù)和材料專業(yè)知識,能夠大規(guī)模制造微米和納米級結(jié)構(gòu)。具有SmartNIL技術(shù)的EVG720系統(tǒng)能夠在大面積上印刷小至40 nm *的納米結(jié)構(gòu),具有****的吞吐量,非常適合批量生產(chǎn)下一代微流控和光子器件,例如衍射光學(xué)元件( DOEs)。
*分辨率取決于過程和模板
如果需要詳細的信息,請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。也可以訪問官網(wǎng),獲得更多信息。 EVG的熱壓印是一種經(jīng)濟高 效且靈活的制造技術(shù),具有非常高的復(fù)制精度,可用于**小50 nm的特征尺寸。EVG7200納米壓印微流控應(yīng)用
EVG ® 620 NT是智能NIL ® UV納米壓印光刻系統(tǒng)。
用UV納米壓印能力為特色的EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統(tǒng)®技術(shù),在100毫米范圍內(nèi)。
EVG620 NT以其靈活性和可靠性而聞名,它以**小的占位面積提供了***的掩模對準技術(shù)。操作員友好型軟件,**短的掩模和模具更換時間以及有效的全球服務(wù)支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境(半自動批量生產(chǎn))的理想解決方案。該工具支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,以及背面對準選項。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準和納米壓印光刻。此外,半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術(shù)。
EVG7200LA納米壓印學(xué)校會用嗎EVG?720/EVG?7200/EVG?7200LA是自動化的全場域納米壓印解決方案,適用于第3代基材。
**的衍射波導(dǎo)設(shè)計商和制造商WaveOptics***宣布與EV Group(EVG)進行合作,EV Group是晶圓鍵合和納米壓印光刻設(shè)備的**供應(yīng)商,以帶來高性能增強現(xiàn)實( AR)波導(dǎo)以當(dāng)今業(yè)界*低的成本進入大眾市場。波導(dǎo)是可穿戴AR的關(guān)鍵光學(xué)組件。
WaveOptics首席執(zhí)行官David Hayes評論:“這一合作伙伴關(guān)系標志著增強現(xiàn)實行業(yè)的轉(zhuǎn)折點,是大規(guī)模生產(chǎn)高質(zhì)量增強現(xiàn)實解決方案的關(guān)鍵步驟,這是迄今為止尚無法實現(xiàn)的能力。” EVG的專業(yè)知識與我們可擴展的通用技術(shù)的結(jié)合將使到明年年底,AR終端用戶產(chǎn)品的市場價格將低于600美元?!斑@項合作是釋放AR可穿戴設(shè)備發(fā)展的關(guān)鍵;我們共同處于有利位置,可以在AR中引入大眾市場創(chuàng)新,以比以往更低的成本開辟了可擴展性的新途徑?!?
EV集團和肖特攜手合作,證明300-MM光刻/納米壓印技術(shù)在大體積增強現(xiàn)實/混合現(xiàn)實玻璃制造中已就緒聯(lián)合工作將在EVG的NILPhotonics?能力中心開展,這是一個開放式的光刻/納米壓印(NIL)技術(shù)創(chuàng)新孵化器,同時也是全球***可及的300-mm光刻/納米壓印技術(shù)線2019年8月28日,奧地利,圣弗洛里安――微機電系統(tǒng)(MEMS)、納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場晶圓鍵合與光刻設(shè)備**供應(yīng)商EV集團(EVG)***宣布,與特種玻璃和微晶玻璃領(lǐng)域的**技術(shù)集團肖特攜手合作,證明300-mm(12英寸)光刻/納米壓印(NIL)技術(shù)在下一代增強現(xiàn)實/混合現(xiàn)實(AR/MR)頭戴顯示設(shè)備的波導(dǎo)/光導(dǎo)制造中使用的高折射率(HRI)玻璃晶圓的大體積圖案成形已就緒。此次合作涉及EVG的專有SmartNIL?工藝和SCHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓,將在EVG位于奧地利總部的NILPhotonics?能力中心進行。肖特將于9月4日至7日在深圳會展中心舉行的中國國際光電博覽會上展示一款采用EVGSmartNIL技術(shù)進行圖案成形的300-mmSCHOTTRealView?玻璃晶圓。300-mm和200-mmSCHOTTRealView?玻璃基板,裝配在應(yīng)用SmartNIL?UV-NIL技術(shù)的EVG?HERCULES?。EVG ? 610也可以設(shè)計成紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)。
NIL300mmEV集團企業(yè)技術(shù)開發(fā)和知識產(chǎn)權(quán)總監(jiān)MarkusWimplinger表示:“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年,為光刻/納米壓印技術(shù)供應(yīng)鏈中的各個合作伙伴和公司與EVG合作提供了一個開放式的創(chuàng)新孵化器,從而縮短創(chuàng)新光子器件和應(yīng)用的開發(fā)周期和上市時間。我們很高興與肖特公司合作,證明EVG光刻/納米壓印技術(shù)解決方案的價值,不僅有助于新技術(shù)和新工藝的開發(fā),還能夠加速新技術(shù)和新工藝在大眾市場中的采用。我們正在攜手肖特開展的工作,彰顯了光刻/納米壓印技術(shù)設(shè)備和工藝的成熟性,為各種令人興奮的基于光子學(xué)的新產(chǎn)品和新應(yīng)用的300-mm制造奠定了基礎(chǔ)?!盨CHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓是**AR/MR設(shè)備的關(guān)鍵組件,已經(jīng)實現(xiàn)了批量生產(chǎn)。產(chǎn)品組合提供了高達,支持深度沉浸的AR/MR應(yīng)用,視野更廣,高達65度。在與增強現(xiàn)實硬件制造商進行多年研發(fā)之后,肖特在2018年推出了***代SCHOTTRealView?。這款**產(chǎn)品在上市一年后便榮獲了享有盛譽的2019年SID顯示行業(yè)獎(SIDDisplayIndustryAward2019)。關(guān)于肖特肖特是特種玻璃、微晶玻璃和相關(guān)高科技材料領(lǐng)域的**國際技術(shù)集團。公司積累了超過130年的經(jīng)驗,是眾多行業(yè)的創(chuàng)新合作伙伴。 NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經(jīng)濟、高 效的方法。EVG7200LA納米壓印學(xué)校會用嗎
納米壓印設(shè)備可用來進行熱壓花、加壓加熱、印章、聚合物、基板、附加沖壓成型脫模。EVG7200納米壓印微流控應(yīng)用
UV納米壓印光刻系統(tǒng)
EVG®610/EVG®620NT /EVG®6200NT:具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統(tǒng)
■高精度對準臺
■自動楔形誤差補償機制
■電動和程序控制的曝光間隙
■支持***的UV-LED技術(shù)
■**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求
EVG®720/EVG®7200/EVG®7200LA:自動化的全場納米壓印解決方案,適用于第3代基材
■體積驗證的壓印技術(shù),具有出色的復(fù)制保真度
■專有的SmartNIL®技術(shù)和多用途聚合物印章技術(shù)
■集成式壓印,UV固化,脫模和工作印模制作
■盒帶間自動處理以及半自動研發(fā)模式
■適用于所有市售壓印材料的開放平臺
EVG7200納米壓印微流控應(yīng)用
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大,現(xiàn)有一支專業(yè)技術(shù)團隊,各種專業(yè)設(shè)備齊全。專業(yè)的團隊大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗,熟悉行業(yè)專業(yè)知識技能,致力于發(fā)展岱美儀器技術(shù)服務(wù)的品牌。公司以用心服務(wù)為重點價值,希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力,將磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】等業(yè)務(wù)進行到底。自公司成立以來,一直秉承“以質(zhì)量求生存,以信譽求發(fā)展”的經(jīng)營理念,始終堅持以客戶的需求和滿意為重點,為客戶提供良好的磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā),從而使公司不斷發(fā)展壯大。