EVGROUP®|產(chǎn)品/納米壓印光刻解決方案
納米壓印光刻的介紹:
EV Group是納米壓印光刻(NIL)的市場**設備供應商。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術多年,掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產(chǎn)。EVG的專有SmartNIL技術通過多年的研究,開發(fā)和現(xiàn)場經(jīng)驗進行了優(yōu)化,以解決常規(guī)光刻無法滿足的納米圖案要求。SmartNIL可提供低至40 nm的出色保形壓印結果。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,歡迎各位聯(lián)系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。
EVG ? 770是分步重復納米壓印光刻系統(tǒng),使用分步重復納米壓印光刻技術,可進行有效的母版制作。中芯國際納米壓印質(zhì)量怎么樣
EVG ® 720自動SmartNIL
® UV納米壓印光刻系統(tǒng)
自動全視野的UV納米壓印溶液達150毫米,設有EVG's專有SmartNIL ®技術
EVG720系統(tǒng)利用EVG的創(chuàng)新SmartNIL技術和材料專業(yè)知識,能夠大規(guī)模制造微米和納米級結構。具有SmartNIL技術的EVG720系統(tǒng)能夠在大面積上印刷小至40 nm *的納米結構,具有****的吞吐量,非常適合批量生產(chǎn)下一代微流控和光子器件,例如衍射光學元件( DOEs)。
*分辨率取決于過程和模板
如果需要詳細的信息,請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司。也可以訪問官網(wǎng),獲得更多信息。 福建納米壓印當?shù)貎r格高 效,強大的SmartNIL工藝提供高圖案保真度,擁有高度均勻圖案層和**少殘留層,易于擴展的晶圓尺寸和產(chǎn)量。
HERCULES®NIL:完全集成的納米壓印光刻解決方案,可實現(xiàn)300 mm的大批量生產(chǎn)
■批量生產(chǎn)低至40 nm的結構或更小尺寸(分辨率取決于過程和模板)
■結合了預處理(清潔/涂布/烘烤/冷卻)和SmartNIL®技術
■全自動壓印和受控的低力分離,可很大程度地重復使用工作印章
■具備工作印章制造能力
EVG®770:連續(xù)重復的納米壓印光刻技術,可進行有效的母版制作
■用于晶圓級光學器件的微透鏡的高 效母模制造,直至SmartNIL®的納米結構
■不同類型的母版的簡單實現(xiàn)
■可變的光刻膠分配模式
■分配,壓印和脫模過程中的實時圖像
■用于壓印和脫模的原位力控制
SmartNIL是行業(yè)**的NIL技術,可對小于40 nm *的極小特征進行圖案化,并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術相結合,可實現(xiàn)****的吞吐量,并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景,即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結構的低成本,大批量替代光刻技術。
*分辨率取決于過程和模板
如果需要詳細的信息,請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司。 EVG?610/EVG?620NT /EVG?6200NT是具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統(tǒng)。
納米壓印設備哪個好?預墨印章用于將材料以明顯的圖案轉移到基材上。該技術用于表面化學的局部修飾或捕獲分子在生物傳感器制造中的精確放置。
納米壓印設備可以進行熱壓花、加壓加熱、印章、聚合物、基板、附加沖壓成型脫模。
將聚合物片或旋涂聚合物加熱到其玻璃化轉變溫度以上,從而將材料轉變?yōu)檎承誀顟B(tài)。然后以足夠的力將壓模壓入聚合物中。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,歡迎各位聯(lián)系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。
納米壓印設備哪個好?預墨印章可用于將材料以明顯的圖案轉移到基材上。臺積電納米壓印干涉測量應用
EVG的熱壓印是一種經(jīng)濟高 效且靈活的制造技術,具有非常高的復制精度,可用于**小50 nm的特征尺寸。中芯國際納米壓印質(zhì)量怎么樣
通過中心提供的試驗生產(chǎn)線基礎設施,WaveOptics將超越其客戶對下個季度的預期需求,并有一條可靠的途徑將大批量生產(chǎn)工藝和設備轉移至能夠大規(guī)模生產(chǎn)波導的指定設施適用于全球前列OEM品牌。
WaveOptics與EVG的合作突顯了其致力于以可實現(xiàn)的價格提供高性能,商用波導來幫助客戶將AR顯示器推向市場的承諾。利用EVG在批量生產(chǎn)設備和工藝技術方面的專業(yè)知識,到2019年,AR終端用戶產(chǎn)品將以不到600美元的價格進入市場,這是當今行業(yè)中的*低價位。 中芯國際納米壓印質(zhì)量怎么樣
岱美儀器技術服務(上海)有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,交通便利,環(huán)境優(yōu)美,是一家其他型企業(yè)。公司是一家有限責任公司企業(yè),以誠信務實的創(chuàng)業(yè)精神、專業(yè)的管理團隊、踏實的職工隊伍,努力為廣大用戶提供***的產(chǎn)品。以滿足顧客要求為己任;以顧客永遠滿意為標準;以保持行業(yè)優(yōu)先為目標,提供***的磁記錄,半導體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術服務自成立以來,一直堅持走正規(guī)化、專業(yè)化路線,得到了廣大客戶及社會各界的普遍認可與大力支持。